Oksidlangan kremniyda xlorid-gidrid epitaksiyasi bilan o'stirilgan GaN nanokristallarining raman va infraqizil spektroskopiyalari

Download 35,13 Kb.
bet	3/4
Sana	07.02.2024
Hajmi	35,13 Kb.
	#152752

1 2 3 4

Bog'liq
Roman tarjima

2.2 optik xususiyatlarni olchash

2 eksperimental
2.1 namuna tayyorlash
Azo bo'yoq (metil qizil (MR)) sxemasi ko'rsatilgandek 1 pH 4.2–6.3 va poli(metilmetakrilat) (PMMA) alohida chlorobenzene yilda dis - hal qilindi.
Turli xil vol - ume nisbatlaridagi MR va PMMA aralash eritmalari tayyorlandi. Keyin eritmalar 0,5 dikkattim Millipore filtri yordamida filtrlandi. MR va MR / PMMA yupqa plyonkalari mikroskop slaydli shisha substratlariga meth-odlarni quyish va aylantirish orqali tayyorlangan. Yigiruv tezligi va erituvchi miqdorini o'zgartirish orqali turli xil plyonka qalinligi olingan. Barcha filmlar 25 ta xona tem - peraturasida tayyorlangan va 24 soat davomida atmosfera pres - sure ostida quritilishi uchun qoldirilgan.
2.2 optik xususiyatlarni o'lchash
Ellipsometrik ma'lumotlar aylanuvchi analizator turidagi o'zgaruvchan burchakli spektroskopik ellipsometr (vaza, J. A. Vullam) bilan olingan. Barcha o'lchovlar xona haroratida havoda 65, 70 va 75 va 200-1000 nm to'lqin uzunligi oralig'ida 5 nm qadamlarda uch burchak uchun hosil qilingan. Qutblanmagan yorug'lik bilan uzatish spektrlari ham ellipsometrik ma'lumotlar bilan bir xil to'lqin uzunligi oralig'ida olingan. MR/PMMA aralash plyonkasini tahlil qilishda har bir kon - stituentni optik konstantalarini olish uchun alohida modellashtirish va keyin aralash plyonkani bir butun sifatida modellashtirish foydalidir. MR/PMMA tizimi uchun o'rtacha optik konstantani olish uchun bir nechta namunalarni tahlil qilish texnikasi ishlatilgan. Xuddi shu MR/PMMA so - lution-dan beshta namunalar to'plami har xil qalinlikda tayyorlangan va ularning qalinligi va optik konstantalarini aniqlash uchun mustaqil ravishda tavsiflangan. Keyin eng yaxshi jihozlangan namunalardan biri tanlandi va mos yozuvlar namunasi sifatida ko'rib chiqildi. Keyinchalik, boshqa to'rtta namunaning eksperimental ma'lumotlari Yuklandi va mos yozuvlar bilan o'xshash optik model (lekin ilgari aniqlangan qalinligi bilan) tuzilgan. Keyin ularning optik konstantalari mos yozuvlar namunasi bilan birlashtirildi va beshta namuna bir vaqtning o'zida o'rnatildi.
Spektroskopik ellipsometriya bo'sh mikroskop slaydli shisha substratlar uchun ma'lumotlar ham sotib olindi va n va k moslama substratning optik kon - stantsiyalarini aniq ifodalash uchun erishildi. MR va MR/PMMA filmlarini modellashtirishda substrat xususiyatlari ap-plied edi. Shisha substratning orqa tomonidagi aks ettirish dasturiy ta'minot tomonidan analitik ravishda kor-rektsiya qilingan. Barcha ma'lumotlarni tahlil qilish Vullam VVASE dasturi yordamida amalga oshirildi (3.2-versiya).

Download 35,13 Kb.

1 2 3 4

Download 35,13 Kb.