|
Microsoft Word D?rs v?saiti. Nanotexnologiya docx
|
| bet | 16/51 | | Sana | 19.12.2023 | | Hajmi | 2,83 Mb. | | #123700 |
Bog'liq 2017-2422 Tayyor2.4. Katodli purkash usuli
Quvurning diagrammasi 2.2-rasmda keltirilgan.Bu yerda 1-gaz chiqarish kamerasi, 2-katod, 3-anod, 4-tayanch.Anod va katod oʻrtasida bir necha kilovoltlik doimiy kuchlanish oʻrnatilgan. ginlik elektrodlar arası fəzada 0,5 kV/cm intensivlikli elektrik
U anodga ulangan, katod kamerasidan 5 ta izolyator yordamida ajratilgan. Kamera oynasiQopqoqni ifloslantirmaslik uchun katod yaqinida 6 ta ekran o'rnatiladi. Agar siz nasosni elektr bilan elektrlashtirsangiz (odatda argon) molekulalarining ionlanishi - 2.2-rasm. Katod agar u maenergiyadan kattaroq bo'lsa ,changni tozalash moslamasi keyin elektronlarning gaz molekulalari bilan to'qnashuvi natijasida ikkinchisi ionlanadi va gaz razryadi paydo bo'ladi.
Elektron gazning ionlanishi uchun oladigan energiya minimal o'rtacha parvoz masofasida elektron oladigan energiyadan katta bo'lishi kerak.Faqat shu shart bajarilgandagina elektron to'qnashuvsiz harakatlanishi va kerakli energiyaga erisha oladi.
Ammo elektronlarning erkin uchish masofasining o'rtacha uzunligi katod va anod orasidagi masofaga teng bo'lsa, elektronlar ulushi ishchi gaz molekulalari bilan to'qnashmasdan elektrodlar orasidagi bo'shliqdan o'tadi. gaz chiqarish to'xtaydi.Bu omil kameradagi gaz bosimining yuqori va pastki chegaralarini belgilaydi.
Gaz ajralishi natijasida hosil bo'lgan plazma elektronlar, musbat ionlar va ishchi gazning neytral molekulalaridan iborat.Ionlar elektr maydoni ta'sirida tezlashadi.
va katod, ya'ni nishon bombardimon qilinadi.Agar ionlarning energiyasi maqsadli atomlarning bog'lanish energiyasidan katta bo'lsa, u holda ionlar nishondan ikkinchi elektronlarni yirtib tashlashi mumkin (ikkinchi elektron emissiya). Shunday qilib, gazning chiqishi o'zini o'zi qo'llab-quvvatlaydi.
Ikkilamchi elektronlar bilan aloqa qilishda ishchi gazning ionlari anod va katod orasidagi elektr maydonida tezlashadi va katod yuzasini bombardimon qiladi (nishon).bosqichning intensivligi ortadi.
Cho'kish jarayonining asosiy xarakteristikasi purkash koeffitsienti Kp=Nat/Nion sifatida aniqlanadi.Bu ion nishondan ajralib chiqadigan atomlarning o'rtacha soni.
Katodik püskürtme asosan turli metallarning yupqa qatlamlarini olish uchun ishlatiladi.Bu vaqtda taglik katodga parallel ravishda joylashtiriladi.Bu kondensator qatlamining qalinligi hamma joyda bir xil bo'lishiga imkon beradi.. Loy kondensatni (o'sayotgan qatlam) ifloslantiradi..
|
| |
