|
Termikbuxarlandırma üsulu
|
| bet | 15/51 | | Sana | 19.12.2023 | | Hajmi | 2,83 Mb. | | #123700 |
Bog'liq 2017-2422 Tayyor2.3. Termikbuxarlandırma üsulu
Yupqa qatlamlarni olishda keng qo'llaniladigan usullardan biri termovakuum usulidir.Bu usul moddani vakuumda bug'lanish haroratiga qadar qizdirish va uning bug'langan atomlarini substratda kondensatsiyalashga asoslangan.Bu jarayon yuqori va o'ta yuqori qatlamlarda amalga oshiriladi. vakuum. Usul juda universaldir, chunki metall, metall qotishmalari, yarim o'tkazgichlar va dielektriklarning yupqa qatlamlarini olish mumkin..Uni amalga oshirish juda oddiy.Usulning cheklovlari shundaki, cho’kish tezligini nazorat qilib bo’lmaydi, yotqizilgan zarrachalar energiyasi past va beqaror..
B ug'lanishga tayyorgarlik bosqichida 1-mavzu isitish moslamasi - sizning ustingizda yoki ichingizda 2 joylashtirilgan va yuqori haroratda intensiv bug'lanadi. Maxsus nasoslar yordamida kamerada yaratilgan vakuumda bug'langan moddaning molekulalari atrof-muhitga tez va erkin tarqaladi yuzasiga etib boradilar.
Agar substratning harorati kritik qiymatdan oshmasa, modda substratda kondensatsiyalanadi
2.1-rasm. Issiqlik
bug'lanish zavodining
sxema
U o'sishni boshlaydi.Dastlabki bosqichda qo'shimchalar sirtining ifloslanishini va material oqimining substratga cho'kishining oldini olish uchun 4 ta bo'linma qo'llaniladi. Yupqa qatlamning funktsional maqsadiga qarab, cho'kish jarayonida püskürtme vaqti, qalinligi, elektr qarshiligi va boshqa parametrlar nazorat qilinadi.
Kerakli ko'rsatkichlarga erishgandan so'ng, ajratish moddaning oqishini oldini oladi va yupqa qatlamning o'sishi to'xtaydi.Parlatishdan oldin substratni isitgich bilan isitish sirtga adsorbsiyalangan atomlarning desorbsiyasini oldini oladi va yaxshilanish uchun sharoit yaratadi. cho'kish paytida o'sayotgan yupqa qatlamning tuzilishi va unni yuqori darajada ushlab turadi.
bug'langan moddaning bug'lanish haroratigaisitish elektron, lazer yoki o'ta yuqori chastotali nurlanish yordamida amalga oshiriladi.Agar yupqa qatlam ko'p komponentli materialdan yasalgan bo'lsa, u holda bir nechta bug'lanish moslamalari ishlatiladi.Turli komponentlarning bug'lanish tezligi har xil bo'lganda, u juda ko'p komponentli yupqa qatlamning kimyoviy tarkibini takrorlash qiyin. ishlatiladi.
|
| |
