|
Kremniyli integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning strukturaBog'liq Integral sxemalarni loyihalash MTA2, Fayzullayev.huawei word, 78822, IEEE STD 802.15.4 STANDARTI2 , Rivojlanishida-nuqsoni-bolgan-bolalar-diagnostikasi.-D.-A.-Nurkeldiyeva, Document, 56Kremniyli integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning struktura
elementlari va texnologik jarayonlar!
Kremniyli mikrosxemalar tayyorlashning tipik texnologik jarayoni, integral
mikrosemalar texnologiyasining o ‘ziga xos jihatlari.
Krem niyli tagliklarga ishlov berish.
Yarimo‘tkazgichli quymalar kristallografik yo‘nalishini aniqlash Kremniiyga
mexanik ishlov berish, kremniy sirtini tozalash , kremniyni yemirish.
Kremniyga aralashmalar diffuziyasi
Diffuzii tenglamasini yechish, diffuzantlar xarakteristikalari, diffiiziya
jarayonini o‘tkazishninig amaliy usullari, diffiizion qatlamlar xarakteristikalarini
o ‘rganish usullari.
Kremniyga aralashmalarni ionli kiritish
Ionli kiritishda aralashmalar taqsimoti, radiasion effektlar va ulaming
legirlangan qatlamlar xossalariga ta’siri, ionlami kiritish jarayonini o'tkazishning
amaliy usullari.
Krem niy qatlamlarini epitaksial o ‘stirish.
Kremniyda xloridli va silanli avtoeiitaksiya metodlari, molekulyar-nurli
epitaksiya, kremniyning sapfir sirtida geteroepitaksiyasi, epitaksial qatlamlar
xarakteristikalarini o ‘rganish metodlari
Yupqa pardalarni olish va ularni qayta ishlash.
Kremniy ikki oksidining pardasini termik oksidlash metodi yordamida olish,
vakuumli
termik
changlatish,
ion-plazmali
changlatish,
bug‘— gaz
aralashmalaridan yupqa pardalarni o‘tqazish, pardalar qalinligini aniqlash
metodlari, yupqa pardalarni qayta ishlashning ion-plazmali va plazmokimyoviy
metodlari.
Litografiya
Fotolitografiya, elsktronolitografiya, rentgen nurli va ion litografii.
Krem niyli integral
mikrosxemlarni
tayyorlashning
texnologik
jarayonlari
Bipolyar mikrosxemalarda elementlami izolyasiyalash metodlari, bipolyar
mikrosxemalami tayyorlashning texnologik jarayonlari, moyatranzistorlari asosida
mikrosxemalami tayyorlashning texnologik jarayonlari, elektrik ulashlami hosil
qilish va kremniyli mikrosxemalami yig‘ish.
|
| |
