Laboratoriya ishI №1 Diffuzion tuzilmalarni olishni o‘rganish Ishning maqsadi: Diffuzion tuzilmalarni olishni o‘rganish Nazariy qism

Download 375.85 Kb.
bet	1/2
Sana	22.03.2024
Hajmi	375.85 Kb.
	#175347

Bog'liq
LABORATORIYA IShI-1
1-Tajriba , 2-Tajriba

Bu sahifa navigatsiya:

• 8.1-rasm. Diffuziyani o‘tkazish usullari.

LABORATORIYA IShI № 1 Diffuzion tuzilmalarni olishni o‘rganish Ishning maqsadi: Diffuzion tuzilmalarni olishni o‘rganish Nazariy qism Diffuziya jarayonlarini nisbatan chegaralangan xarorat diapozonida o‘tkaziladi. Kremniy uchun bu diapozon 10000S -13000S ga teng. 10000S dan past xaroratlarda d Diffuziya koeffitsientining qiymati yoki diffuziya chuqurligi past qiymatlarda bo‘ladi. 13000S dan yuqori temperaturada xarorat ta’sirida plastinalarning yuzalari buziladi va talab etilgan diffuzion qatlamlar olib bo‘lmaydi. Agar izolyatsiyalangan xajmga yarimo‘tkazgichli plastina va kirishma elementi o‘rnatilib qandaydir qiymatdagi xaroratga qizdirilsa, kirishma elementining sublimatsiyasi va bug‘lanishi natijasida xajmda kirishma element bug‘larining ma’lum qiymatdagi parsial bosimi xosil bo‘ladi. Par molekulari butun yuzada adsorbsiyalanadi. Umumiy xolda muvozanatiy konsentratsiya bug‘ bosimiga proporsional bo‘ladi, shuning uchun kirishmalarni sirtiy konsentratsiyasini boshqarishni bosimni nazorat qilish yo‘li bilan amalga oshiriladi. 8.1-rasm. Diffuziyani o‘tkazish usullari. Diffuziya jarayonlarini berk va ochiq trubalarda o‘tkaziladi. Ochiq trubka deganda shunday terminni tushunish kerakkki, trubaning chiqish tomoni atmosfera bilan o‘zaro ta’sirlashadi(8.1-rasm, a-v, d). U orqali diffuziya zonasiga kremniyli plastinalar 1 solinadi. Atmosferadan ifloslanishni minimum qiymatga keltirish uchun 2 trubaning yuqori qismiga so‘ruvchi tizim o‘rnatiladi. Diffuzion trubaning kirish qismi 3 gaz tashuvchini kiritish uchun xizmat qiladi (azot, argon yoki kislorod). Berk truba termini germetik trubalarda o‘tkaziladigan diffuziya jarayonlari uchun ishlatiladi (8.1-rasm, g). Yarimo‘tkazgichning plastinasi 1 va diffuzant manbasi 4, 6 kvarsli trubaga solinadi. Vakuum xosil qilinib, germetik xolatga keltirilib 5 diffuzion pechga joylashtiriladi. Diffuzant 4 ni plastina yuzasiga surtiladi (8.1-rasm, d) yoki gaz yoki par ko‘rinishida gaz-tashuvchi orqali kiritiladi (8.1-rasm,a). 8.1,b-rasmda ochiq truba usulidagi qattiq manba diffuzantlari diffuziyasi uchun qo‘llaniladigan ikki zonali pechning sxemasi keltirilgan. 8.1,v-rasmdagi diffuziya usulida plastinalar va kirishma manbalari bir zonali pechning yarim germetik konteynerga joylashtiriladi. Ochiq trubali qattiq, suyuq va gaz fazali manbalar yordamida o‘tkaziladigan diffuziya usullari yarim o‘tkazgichli asboblar va IMSlar texnologiyasida eng ko‘p qo‘llaniladigan usullar xisoblanadi. Kremniyga diffuziyalash jarayonlarida asosan bor va fosfor diffuzantlari qo‘laniladi. Planar elementlarni tayyorlashda diffuziya jarayoni ikki bosqichda amalga oshiriladi. Birinchi bosqichda kremniy plastinasining yuzasida kirishmaning erfc-taqsimoti bo‘yicha yupqa diffuzion qatlam xosil qilinadi. Jarayonni nisbatan past bir yoki ikki xarorat zonasida amalga oshiriladi. Jarayonning ikkinchi bosqichida diffuzantlar atomlari bo‘lmagan bir zonali pech atmosferasida yarim o‘tkazgich plastina qizdiriladi. Bunda faqatgina kirishmalarning qayta taqsimlanish jarayoni amalga oshiriladi. Diffuziya jaryonlarida diffuzantlar sifatida gaz xolatdagi bor va fosfor gidridlari, suyuq xolatdagi bor va fosfor galogenidlari va qattiq xolatdagi bor va fosfor oksidlari qo‘llaniladi. Qattiq manbadan diffuziyalashda fosfor diffuzanti sifatida suvsizlantirilgan fosfor pentaoksidi (R2O5 fosfor angidrid) qo‘llaniladi. Fosfor pentaoksidi manba zonasiga o‘rnatiladi va 200-3000S xaroratga qizdiriladi(15.1,b-rasm). Gaz tashuvchi pentaoksid molekulalarini ushlab, diffuziya zonasiga tashib o‘tadi. Kremniy va fosfor pentaoksidi o‘rtasida kimyoviy reaksiya sodir bo‘ladi, natijada plastina yuzasida oddiy fosfor va shishasimon birikma kremniy oksidi xosil bo‘ladi. Download 375.85 Kb.

Download 375.85 Kb.