127
ularning ayrimlari kanallar bo’ylab o’z harakatini davom ettirishi va bu uzoq
masofalargacha davom etishi mumkin
5.11 –rasm.
Ion inplantatsiya jarayonida sirtda yuz beradigan hodisalar
Kanallanish ikki xil bo’ladi: o’q va tekislik bo’yicha.
Ionlarni asosiy qismi
betartib tarqalib yuza osti qatlamlarga joylasha boshlaydi,
bunday joylashish
diffusion joylashish deb ataladi. Ular energiyaga bog’liq ravishda muayyan bir
chuqurlikda joylashadi. Ionlar joylashgan qatlamlarni ionli legirlangan qatlam deb
ataladi. Ionli legirlangan qatlam
va bu qatlamning pastida, legirlangan qatlamdan
ko’ra 2-3 barobar katta bo’lgan qatlamlarni kristall panjarasi buzuladi va amorflana
boshlanadi.
Kerakli brikmani hosil qilish uchun, amorf qatlamlarni kristallash uchun ion
inplantatsiyadan so’ng, haroratli yoki lazer nuri bilan ishlov beriladi.
5.12-rasm.
