128
qatlamni qizdirib yangi turdagi nanomaterial olish mumkin. Ion inplantatsiya usuli
yordamida
bir xil atomli plenkalar olish, asosan yuza va yuza osti qismlariga
ma’lum dozali boshqa
atomlarni kiritish orqali, shu material yuzasida va yuzaga
osti qatlamlarida nanomateriallar yoki nanplenkalar hosil qilish mumkin.
5.13– rasm. Ba
+
ionlari bilan legirlangan Si(111) sirtiing ko’rinishi,
E
i
=1keV
Bunday turdagi materiallar lazer texnologiyalarida
har xil kuchaytiruvchi
qurilmalarda, tranzistorlarni ishlab chiqarishda keng qo’llaniladi. Agar birlik
yuzaga tushayotgan ionlar konsentratsiyasi 10
14
-10
15
sm
-2
ta bo’lsa,
u holda
yuzaning turli nuqtalarida nanomateriallar hosil qilinadi,
doza ortib borishi bilan
yuzada nanoplenkalar hosil bo’ladi.
