|
VI BOB. ELEKTRON OPTIK VA ZAMONAVIY MIKRASKOPLARBog'liq NANOTEXNOLOGIYA ASOSLARI (UMUMIY) 22.06.2020 (1)VI BOB. ELEKTRON OPTIK VA ZAMONAVIY MIKRASKOPLAR
YORDAMIDA NANOPLYONKALARNI O’RGANISH USULLARI
Hozirgi kunda qattiq jism yuzalarini, nanomateriallar tuzilishini o‘rganish
uchun elektron mikroskoplar keng qo‘llanilmoqda. Jismni elektronlar dastasi bilan
yoritish usuli yorug‘lik dastasi jism orqali o‘tuvchi va shundan so‘ng optik tizimga
tushuvchi oddiy yorug‘lik mikroskopni eslatadi. Amalda esa elektronoptik tasvirni
hosil bo‘lishiga olib keluvchi jismning elektronlar to‘plam bilan ta’sirlashish
harakteri, yorug‘lik mikroskopda jismning yorug‘lik to‘plami bilan ta’sirlashish
mexanizimidan mutloq farq qiladi. Mikroskoplarning turlari juda ko‘p bo‘lishiga
qaramasdan ularni shartli ravishda ikki turga ajratish mumkin: yorug‘lik (optik)
mikroskoplari va elektron mikroskoplardir. Mikroskoplar asosan uchta tizimdan
iborat bo‘ladi: elektronlar (yorug‘lik) manbai, nurlarni boshqarish tizimi va
tekshirilayotgan jism. Jismning o‘lchami va qo‘yilgan vazifaga qarab mikroskoplar
ikki xil rejimda ishlashi mumkin: o‘tuvchi nurlar va qaytgan nurlar
mikroskopiyasi. Nurlarning o‘lchami 5 – 10 mkm dan 100 mkm gacha bo‘lishi
mumkin. Yuzani to‘liq tekshirish uchun rastrli mikroskoplar ishlatiladi. Elektron
to‘p qabul qilgichda iloji boricha kichik o‘lchamga ega bo‘lgan fokuslangan
elektron dastani hosil qilish uchun xizmat qiladi. Bunday to‘plar quyidagi
shartlarni qanoatlantirishi lozim:
-qabul qilgichda ko‘ndalang kesimi eng kichik qiymatga ega bo‘lgan
elektron dastani hosil qilish;
-ekran tekisligida dastadagi tok zichligining kerakli qiymatlarini ta’minlashi;
-dastadagi tok kattaligi kerakli oraliqda oson o‘zgartirilishi lozim.
Hozirgi kunda kattalashtirish koeffitsiyenti 10
6
ga teng bo‘lgan mikroskoplar
mavjud.
6.1. Elektron mikroskopda tasvirlar hosil qilish
Yorug‘lik mikroskopida jism orqali o‘tuvchi yorug‘lik to‘plami jismdagi
yorug‘likni turlicha
|
| |
