145
Chunki yorug‘lik linzalaridan farqli ravishda elektron linzalarda aberratsiyalar,
difraksiya bilan birgalikda ajrata olish qobiliyatini chegaralaydi.
Agar geometrik aberratsiyalar haqida gapiradigan bo‘lsak, kichik apertura va
kichik o‘lchamli obyektlardan foydalaniladigan
elektron mikroskoplarda
sferik
aberratsiya
muhim ahamiyatga ega bo‘ladi. Bunda nuqtaviy obyektning tasviri
(yuzaga tushayotgan dastaning diametri) apertura kubiga proporsionaldir, ya’ni
3
С
d
сф
(6.1)
Manba
kuchlanishining nostabilligi, katoddan chiqayotgan elektronlarning
boshlang‘ich tezliklari bir – biridan farq qilishi va obyektdan o‘tganda elektronlar
o‘z energiyasini yo‘qotishi sababli, hosil bo‘ladigan
xromatik aberratsiya
yuqori
tezlashtiruvchi
kuchlanishlarda, yaxshi stabillangan manbada va obyektning
qalinligi kichik bo‘lganda katta ahamiyatga ega emas.
Shuni ta’kidlab o‘tish kerakki, elektron mikroskoplarda asosiy buzilishlarni
obyektivda ya’ni, birinchi linzada hosil bo‘lgan
aberratsiyalar
keltirib chiqaradi.
Chunki proyeksion linza uchun obyekt vazifasini
obyektiv tomonidan
kattalashtirilgan dastlabki tasvir bajaradi. Shunday qilib,
ajrata olish qobiliyatiga
asosiy ta’sirni
