150
6.6 – rasm. Elektron mikroskop linzasining stigmatori.
Uzoq vaqt davomida magnit elektron mikroskoplar ustida elektrostatik
mikroskoplarga qaraganda ko‘proq izlanishlar olib borilganligi uchun, birinchi
navbatda ularda maksimal ajrata olishga erishildi.
Lekin elektrostatik mikroskoplar magnit mikroskoplarga qaraganda
kamchiliklardan (magnit mikroskoplarga qaraganda past
ajrata olish qobiliyati va
past ishchi kuchlanishlari) tashqari bir qancha afzalliklarga ham ega: yoritish
qurilmasi uchun ham mikroskopning elektrostatik linzalari uchun ham manba
sifatida ishlatilishi mumkin bo‘lgan soddalashgan manba sxemasi, linzalarning
sodda konstruksiyalari, hamda kuchlanishlarning
stabilizatsiya qilinishiga
qo‘yiladigan talablarning pastligi.
Elektrostatik elektron mikroskopning optik sxemasi magnit mikroskopning
sxemasi bilan bir xildir. Faqatgina u ba’zi bir hollarda unda kondensor linzaning
bo‘lmasligi va yoritish tizimi uzun fokusli to‘p shaklida bo‘lishi bilan farqlanadi
(6.4 b – rasm).
Elektron linzalar sifatida yakkalangan elektrostatik linzalar ishlatiladi.
Ularning optik kuchi elektrodlar orasidagi masofaning qisqarishi va ularga berilgan
kuchlanishning oshirilishi bilan oshadi. Lekin bu ikki yo‘l ham elektr
mustaxkamlik buzilishi mumkinligi sababli chegaralanadi va shuning uchun
elektrostatik mikroskoplarning
ishchi kuchlanishi, odatda, 50 – 60 kV dan
oshmaydi. Elektrodlar orasidagi teshilish asosan ularning yuzalarida vujudga
keladigan avtoelektron emissiya sababli sodir bo‘ladi. Shuning uchun ularga ishlov
berishga katta e’tibor qaratiladi. Undan tashqari, linzani tashkil etuvchilarning
151
sifatli tayyorlanishi, ishlov berilishi va montaj
qilinishi maydonning aksial
simmetriyasiga ta’sir qiladi.
Yakkalangan linzalarning asosiy yutug‘i sifatida, ularning optik kuchini
o‘rta elektrod elektronlar manbai bilan ulangan holda stabillashtirish imkoniyati
mavjudligida deb aytish mumkin. Elektrostatik elektron mikroskoplarda
yakkalangan linzalarning o‘rta elektrodlarini pushkaning katodi va chetdagilarni
yerga ulangan anod bilan ulagan holda manbaning stabilligiga bo‘lgan
talablarni
magnit mikroskoplardagiga qaraganda kamaytirish mumkin.
Magnitli mikroskopda ham elektrostatik elektron mikroskopda ham yoritish
tizimi, elektron linzalar, stigmatorlar, diafragmalar, obyekt qotiriladigan stol va
lyuminessentli ekran fotoplastinkalari bilan birga
mikroskop kolonnasi deb
nomlanadigan vertikal kameraga joylashtiriladi. Undan tashqari mikroskop manba
va kolonna ishchi hajmida 10
-5
mm. sim. ust. ga teng bo‘lgan vakuumni
ta’minlaydigan vakuum qurilma bilan jihozlangan.
O‘ta yuqori ajrata olish qobiliyati va kompleks tadqiqotlar olib borish
imkoniyatini beruvchi universal mikroskoplar bilan bir qatorida soddaroq
tuzilishga, kichik o‘lchamlarga, ishlash kuchlanishi 30 – 50 kV va ajrata olish
qobiliyati 30 – 60 Å bo‘lgan sodda mikroskoplar ham mavjud.
Bu turdagi kichik
o‘lchamga ega bo‘lgan mikroskoplar yuqori ajrata olish qobiliyatini talab
qilinmaydigan tadqiqotlarda keng ishlatilishi mumkin.
Shuni ta’kidlab o‘tish kerakki bugungi kunda 150 kV dan million kV gacha
va undan yuqori kuchlanishda ishlaydigan o‘ta yuqori vol’tli mikroskoplar katta
qiziqish uyg‘otmoqda. Bunday energiyali elektronlarning yuqori kirish qobiliyati
sababli qalinligi bir necha mikron bo‘lgan obyektlarni o‘rganish imkoniyati
vujudga keldi.