155
yurish yo‘lidan kichik bo‘lishi kerak. Namunaning qalinligi iloji boricha yupqa
bo‘lishi kerak, aks xolda yuqori ajrata olish imkoniyati va elektron mikroskopning
keskinlik chuqurligining kattaligi sababli tasvirda ko‘p miqdorda bir birining
ustiga tushgan elementlar xosil bo‘ladi. Namunaning qalinligi ajrata olish imkoni
kattaligidan
10
marta
oshmasligi
kerak.
Metall
qotishmalar
va
yarimo‘tkazgichlarning 10-100 mm qalinlikdagi
pardalarni olish uchun
mikroyemirish usulidan foydalaniladi. Kattalashtirilgan
tasvirning kontrastligi
namuna orqali o‘tuvchi elektronlarni bir qismini atom bilan to‘qnashishi xisobiga
erishiladi. Bunda elektron sochiladi yoki ularni energiyasi kamayadi. Tasvirni
yozish uchun fluoressent ekran, fotoplenka yoki fotoplastika bilan almashtiriladi.
Namunaning qalinligi uni nurlantiruvchi elektronning o‘rtacha erkin yurish
yo‘lidan kichik bo‘lishi kerak. Namunaning qalinligi iloji boricha yupqa bo‘lishi
kerak, aks holda yuqori ajrata olish imkoniyati va elektron mikroskopning
keskinlik chuqurligining kattaligi sababli tasvirda ko‘p miqdorda bir birining
ustiga tushgan elementlar xosil bo‘ladi. Namunaning qalinligi ajrata olish imkoni
kattaligidan
10
marta
oshmasligi
kerak.
Metall
qotishmalar
va
yarimo‘tkazgichlarning 10-100 mm qalinlikdagi pardalarni olish uchun
mikroyemirish usulidan foydalaniladi. Kattalashtirilgan tasvirning kontrastligi
namuna orqali o‘tuvchi elektronlarni bir qismini atom bilan to‘qnashishi hisobiga
erishiladi. Bunda elektron sochiladi yoki ularni energiyasi kamayadi.
Sochilgan elektronlarni tasvirni fokal tekisligiga yig‘ish uchun ob’yektiv
linzada apertura diafragmasi joylashtiriladi. Yorituvchi elektron mikroskopda
apertura diafragmasi tasvirni hosil mexanizmida muhim rol o‘ynaydi. U tomonidan
ют
katta burchakka og‘gan elektronlarni yutib oladi. Bu esa fluoressent ekranda
fon hosil bo‘lishini oldini oladi. Shuningdek apertura ob’yektiv linzaning sferik
aberratsiyasini kamaytiruvchi vosita hisoblanadi. Uning o‘lchami sferik aberratsiya
xisobiga tasvirning yoyilishi difraksiyadagidek bo‘lguncha kichraytiriladi.
Aperturaning o‘lchamini yanada kichaytirish, tasvirni
difraksion yoyilishini
oshishiga olib keladi. Elektronlar energiyasi qanchalik katta bo‘lsa, ularning to‘lqin
uzunligi shunchalik kichik bo‘ladi. Bunga bog‘liq ravishda apertura shunchalik
157
Fluoressent ekranda tasvirni ko‘rish yoki foto plastinkaga uni tasvirini olish
uchun namunani nurlantiruvchi elektronlarning intensivligi iloji boricha katta
bo‘lishi kerak. Nurlantiruvchi tizim shu xolatni hisobga olgan holda ishlab
chiqariladi va turli konstruksiyaga ega bo‘lishi mumkin. Odatda u elektrostatik uch
elektrodli manbadan iborat bo‘lib, undan so‘ng ikkita magnit linzali kondensor
joylashtiriladi. Uch elektrodli manbaning katod va anod
orasida krossover hosil
qilinadi va elektronlar to‘plamining anoddan chiqqandagi yoyilganlik 10
-2
rad
(0,5
) tashkil qiladi.
Birinchi kondensorning linzasi pastki o‘ram ichida krossoverning
kichiklashtirilgan tasvirini hosil qiladi. Bu tasvir namunani nurlantiruvchi dog‘ni
olish uchun ikkinchi kondensor linzasi tomonidan kattalashtiriladi (kattalashtirish
koeffitsiyenti 1 – 2 oraliq atrofida). Bu dog‘ning diametri ikkinchi kondensor
linzadagi magnit maydoni kuchlanganligini o‘zgartirish bilan boshqariladi.
Dog‘ning diametri ko‘rilishi kerak bo‘lgan yuzadan katta bo‘lishi kerak emas.
To‘plam tokining zichligi kondensorning apertura o‘lchami, manba
elektrodlaridagi kuchlanish va katoddan emissiyaning maksimal ravshanligi bilan
aniqlanadi. Birinchi kondensor linzasi to‘plam krossoverini 10 – 15 marta
kamaytiradi. Namunadagi nurlantiruvchi dog‘ diametrini V –
shakli katod
cho‘lg‘ami ishlatilganda, 1 mkm gacha kamaytirilishi mumkin. Agarda yanada
kamaytirish talab qilinsa, elektronlarning nuqtaviy manbalari ishlatiladi.
Obyektiv linzasi kichik fokus masofaga ega bo‘lib, uni 1 mm qilish mumkin.
Namuna bevosita fokusga joylashtiriladi. 200000 marta kattalashtirish uchun
ob’yektiv, oraliq va proyeksion linzalar orasidagi kattalashtirishlarning nisbati
100:20:100 ga teng qilib olinadi. Oraliq linzaning vazifasi mikroskopning
uzunligini faqatgina proyeksion linzaning o‘zi ishlatilgan
mikroskopga qaraganda
kichiklashtiradi. Bu bilan 1mm kichik fokus masofali magnit linzani yaratish
qiyinchiligidan holi bo‘linadi. Kondensor va kattalashtiruvchi tizimlarda magnit
linzalar qo‘llaniladi, chunki ularda elektrostatikga nisbatan kichik aberratsiyaga
erishiladi.
158
Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q
joylashuvi qo‘zg‘almas qilib o‘rnatilgan. Fokuslash va kattalashtirish obyektiv,
oraliq va proyeksion linzalarning fokus masofasini o‘zgartirish bilan boshqariladi.
Bunda fokus masofa linzalarning magnit o‘ramlari orqali oqib o‘tayotgan tokni
o‘zgartirish bilan amalga oshiriladi (6.10 – rasm).
Shuning uchun manba
elektrodlaridagi tok va kuchlanishlarning turg‘unligi, mikroskopning ishlashida
muhim ahamiyatga egadir. Bundan tashqari linza va aperturaning optik o‘qining
yustirovkasi yuqori aniqlikda qilinishi kerak.
6.10 – rasm. Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q
joylashuvi.
Yoritilgan elektron mikroskopda yordamida sirt strukturasini kuzatishda
ikkita usuldan foydalaniladi. Yupqa namunalar uchun qorong‘ulash (soyalash)
usuli ishlatilsa, qalin namunalarda esa nusxa olish usulidan foydalaniladi.
