163
Namuna sirtning tasvirini olish uchun ikkilamchi,
qaytgan va yutilgan
elektronlar ishlatiladi. Qolgan nurlanishlar REM da qo‘shimcha ma’lumot manbayi
sifatida ishlatiladi.
Har qanday mikroskopning asosiy xarakteristikasi ularning ajrata olish
qobiliyati hisoblanadi. U quyidagilar bilan aniqlanadi: 1 – zond diametri yoki
kesim yuzasi, 2 – namuna va detektor tizimi
hosil qiladigan kontrastlik, 3 –
namuna signalni hosil bo‘lish sohasi.
Zond diametri asosan konstruktiv xususiyat va mikroskop bo‘g‘inlarning
sifatida, avvalambor elektron optikaga bog‘liq bo‘ladi. Zamanaviy REMlarda zond
diametri 5 – 10 nm gacha kichiklashtirilgan.
6.15 – rasm. Elektron nurni jism bilan o‘zaro ta’sirlashish effekti.
1 – elektron nur, 2 – jism, 3 – akslangan elektronlar, 4 – ikkilamchi elektronlar, 5
– Oje – elektronlar, 6 – yutilgan elektronlar toki, 7 – o‘tib ketgan elektronlar, 8 –
katodlyuminessent nurlanish, 9 – rentgen nurlanish.
Kontrastlikni ajrata olish qobiliyatiga ta’siri quyidagida namayon bo‘ladi.
REMda kontrastlikni hosil qilish, namunaning qo‘shni sohalaridan qayt
qilinayotgan signallarning farqi bilan aniqlanadi. Bu signallarning
farqi qanchalik
katta bo‘lsa, kontrastlik shunchalik katta bo‘ladi. Kontrast bir necha faktorlarga,
ya’ni sirt topografiyasiga, jismning kimyoviy tarkibiga, sirtdagi mahalliy magnit va
elektr maydonlariga, struktura elementlarining kristallografik yo‘nalishiga bog‘liq
bo‘ladi. Ulardan eng asosiysi namuna sirtining notekisligiga bog‘liq bo‘lgan
2
6
7
8
9
1
3
4
5
164
topografik, hamda kimyoviy tarkibiga bog‘liq bo‘lgan kompozitsion hisoblanadi.
Kontrast
darajasi, shuningdek chiqishida signal hosil qiluvchi detektorga tushgan
nurlanishni aylantirish samaradorligiga bog‘liq bo‘ladi. Olinayotgan kontrastlik
yetarli bo‘lmasa, u holda uni zond tokini ko‘paytirish bilan oshirish mumkin. Biroq
katta
elektronlar oqimi, elektron optika hususiyatidan kelib chiqqan holda yaxshi
fokuslanmaydi, ya’ni zond diametri oshadi va bunga mos ravishda ajrata olish
qobiliyat kamayadi.
Ajrata olishni cheklovchi keyingi faktor namunada signallarni hosil bo‘lish
sohasining o‘lchamiga bog‘liq bo‘ladi. 6.16 – rasmda elektron to‘plam namunaga
ta’sir qilganda turli nurlanishlarning hosil bo‘lish sxemasi keltirilgan.
Birlamchi
elektronlar namunaga kirganda barcha yo‘nalish bo‘yicha sochiladi. Shuning
uchun namuna ichida elektron to‘plamni kengayishi yuz beradi. Birlamchi
elektronlarning YE = 0 energiyagacha
sekinlashgan sohasida, nok simon shaklga
ega bo‘ladi. Namunada elektron to‘plamini yon tomonlarga kengayishi, zond
diametri 10 nm bo‘lganda ham, 1 dan 2 mkm gacha borishi mumkin.
Elektronlarning
yoyilishi, elektronlarning namuna sirtiga chiqish yuzasi
elektronlar to‘plamining fokusidan katta bo‘lishiga olib keladi. Bunga bog‘liq
ravishda elektronlarning namuna ichida sochilish jarayoni akslangan, ikkilamchi va
yutilgan elektronlardan olinayotgan tasvirning ajrata olish qobilyatiga katta ta’sir
qiladi.
