159
optik kattalashtirish tizimi (6.11 – rasm) yorituvchi turdagi mikroskop kabi bo‘lib,
biroq jismni tasvirini
hosil qilishga olib keluvchi, jismni elektron to‘plam
bilan
o‘zaro ta’sirlashishi o‘zgacha bo‘ladi. Akslanuvchi mikroskopda tekshirilayotgan
namuna, uning sirtiga ma’lum burchak ostida tushuvchi elektron to‘plam bilan
nurlantiriladi. Jismning tasviri akslangan, aniqrog‘i namuna sirtidan sochilgan
elektronlar hosil qiladi.
Akslangan to‘plamdagi tok zichligining taqsimoti sirt relefiga bog‘liq
bo‘ladi (6.12 – rasm). Shuning usun ekrandagi yakuniy tasvir ma’lum darajada shu
relefni tasvirlaydi.
6.11 – rasm. Akslanuvchi magnit elektron mikroskop sxemasi: 1 – Elektron to‘p; 2
– kondensor linza; 3 – namuna; 4 – obektiv linza; 5 – proyeksion linza; 6 – oraliq
tasvir; 7 – yakuniy tasvir.
Tasvirni olishdagi xatolikka quyidagi holat sabab bo‘ladi, ya’ni
elektronlar
namuna sirti bilan o‘zaro ta’sirlashganda o‘z energiyasini turli darajada yo‘qotadi.
6.12. – rasm. Akslanuvchi mikroskopda elektronlar zichligining taqsimoti
1
2
3
4
6
5
7
2
160
Buning natijasida akslangan to‘plam monoenergiyali bo‘lmaydi. Akslangan
to‘plamda energiya farqlanishi katta bo‘ladi. Uni tushuvchi va akslangan
elektronlarni, namuna sirti bilan hosil qilgan burchakni kamaytirish bilan erishiladi
(mos
ravishda
1
va
2
). Kichik burchaklarda (
1
,
1
8°) farqlanish kattaligi 80
keV energiyali elektronlar uchun 100 eV ni tashkil qiladi (6.13 – rasm). Bu esa
tushush tekisligiga perpendikulyar yo‘nalishda bir necha 100 angstremga teng
bo‘lgan ajratishni beradi. Namuna sirtiga kichik
burchak ostida tushuvchi va
akslanuvchi elektron to‘plamlarga ega bo‘lgan akslanuvchi mikroskoplar
qo‘llaniladi. Bunday mikroskoplarda obektiv o‘qi tekshirilayotgan namuna
tekisligi bilan
2
burchak hosil qiladi. Jismga tushuvchi elektron to‘plam shu o‘q
bilan
burchakni tashkil qiladi va 8 - 12° ga teng bo‘ladi. Kerakli elektron to‘plam
yo‘nalishini olish uchun mikroskopning yorituvchi tizimi obektiv o‘qiga
nisbatan
og‘dirilgan holda joylashtiriladi.
6.13. – rasm. Akslanuvchi elektron mikroskopda jismga elektron to‘plamni og‘ma
tushushi: O – obektiv; D – obektivning fokal tekisligi.
Akslanuvchi mikroskopning kamchiligi, elektron to‘plamning og‘ma
tushushi bilan bog‘liq bo‘lgan tasvir buzilishidir. To‘plamning bunday yo‘li tufayli
tushush tekisligiga parallel yo‘nalishdagi sirt o‘lchami, shu tekislikka
perpendikulyar bo‘lgan tasvir o‘lchamiga nisbatan kichiklashgan bo‘ladi.
Darhaqiqat, agar mikroskop optik
tizimining kattalashtirishi
М
ga teng bo‘lsa, u
1
2
=
1
+
2
161
holda tushush tekisligiga perpendikulyar bo‘lgan jism sirtida yotuvchi
а
uzunlikdagi tasvir qismi
Ма
bo‘ladi. Tushush tekisligiga parallel joylashgan xudi
shu uzunlikdagi tasvir
Ма sin
2
o‘lchamga ega bo‘ladi. Bu
yerda
2
– akslangan
elektronni namuna sirti bilan hosil qilgan burchak. Shunday qilib, birinchi holatda
kattalashtirish
M
M
bo‘lsa, ikkinchi holatda
2
sin
M
M
bo‘ladi.
Bundan tashqari o‘lcham jasmning ko‘tariluvchi qismlarida ham o‘zgaradi.
h
balanlikka ega ko‘tariluvchi qism tasvirining uzunligi
Мh cosα
2
teng bo‘ladi. Bu
holatda kattalashtirish
Мh cosα
2
ga teng bo‘ladi.
Akslanuvchi elektron mikroskopning eng katta kamchiligi ajrata olishning
cheklanganli va tasvirning deformatsiyalanishiga qaramasdan, u shaffof bo‘lmagan
jism sirtini bevosita kuzatishda eng samarali uskuna bo‘lib hisoblanadi.
Akslanuvchi mikroskop yordamida temir namunanig tasviri 6.14 –
rasmda
keltirilgan.
