|
M t normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov nanotexnologiya asoslariBog'liq NANOTEXNOLOGIYA ASOSLARI (UMUMIY) 22.06.2020 (1)Akslangan elektronlar.
Ular birlamchi elektronlarning bir marotaba elastik
sochilishlari natijasida katta burchakka (90° gacha) yoki ko‘p marotaba
sochilishlar natijasida kichik burchakka sochilishda hosil bo‘ladi. Yakunda
birlamchi elektronlar namuna atomlari bilan bir necha ta’sirlashib, energiya
yo‘qotadi va o‘zining harakat yo‘nalishini o‘zgartiradi, hamda namuna sirtini tark
etadi. Akslangan elektronlarning hosil bo‘lish sohasining o‘lchami katta va
namuna materialida elektronlarning yugurish yo‘liga bog‘liq. Soha ko‘lami
birlamchi elektronlarni tezlashtiruvchi kuchlanish oshishi va namuna tarkibiga
kiruvchi elementlarning o‘rtacha atom raqamining Z kamayishi bilan o‘sadi. Soha
ko‘lami 0,1 dan 1 mkm gacha borishi mumkin.
165
Akslanish jarayonida energiyaning bir qismini yo‘qotgan elektronlar
namunani elektron zond tushgan joyga nisbatan katta masofada tark etadi. Bunga
mos ravishda signal olinadigan yuza zond yuzasidan katta bo‘ladi. Shuning uchun
akslangan elektronlarni qayd qilish rejimida REM ning ajrata olishi katta emas va
katta bo‘lmagan tezlashtiruvchi kuchlanishda va og‘ir material bilan ishlaganda 10
nm o‘zgarsa, katta tezlashtiruvchi kuchlanishda va yengil material bilan ishlaganda
100 nm yetadi. Akslangan elektronlar emissiyasining eng asosiy xususiyati
elementning atom raqamiga bog‘liqligidir. Birlamchi elektronlar to‘plamining
tushush nuqtasida material atom raqami kichik bo‘lsa, u holda qichik energiya
zahirasiga ega bo‘lgan kam miqdorda akslangan elektronlar hosil bo‘ladi. Atom
raqami katta bo‘lgan namuna sohasida, ko‘p miqdorda elektronlar akslanadi va
namunaning kichik chuqurligida hosil bo‘lganligi uchun ular sirt tomon
harakatlanishida kam energiya yo‘qotadi. Bu qonuniyat akslangan elektronlarda
tasvir olishda ishlatiladi.
6.16. – rasm. Jism sirtini elektronlar (zond) oqimi bilan nurlantirlganda
signallarni hosil bo‘lish sohasi. 1 – Oje – elektronlar, 2 – ikkilamchi elektronlar, 3
– akslangan elektronlar, 4 – xarakterli rentgen nurlanishlari, 5 – sekinlashuvchi
rentgen nurlanishlari, 6 – fluoressensiya.
1
2
3
4
5
6
E=0
1nm
1
-10
nm
0,
1
-1
nm
0
,2
-2
nm
zond
d
|
| |
