165
Akslanish jarayonida energiyaning bir qismini yo‘qotgan
elektronlar
namunani elektron zond tushgan joyga nisbatan katta masofada tark etadi. Bunga
mos ravishda signal olinadigan yuza zond yuzasidan katta bo‘ladi. Shuning uchun
akslangan elektronlarni qayd qilish rejimida REM ning ajrata olishi katta emas va
katta bo‘lmagan tezlashtiruvchi kuchlanishda va og‘ir material bilan ishlaganda 10
nm o‘zgarsa, katta tezlashtiruvchi kuchlanishda va yengil material bilan ishlaganda
100 nm yetadi. Akslangan elektronlar emissiyasining
eng asosiy xususiyati
elementning atom raqamiga bog‘liqligidir. Birlamchi elektronlar to‘plamining
tushush nuqtasida material atom raqami kichik bo‘lsa, u holda qichik energiya
zahirasiga ega bo‘lgan kam miqdorda akslangan elektronlar hosil bo‘ladi. Atom
raqami katta bo‘lgan
namuna sohasida, ko‘p miqdorda elektronlar akslanadi va
namunaning kichik chuqurligida hosil bo‘lganligi
uchun ular sirt tomon
harakatlanishida kam energiya yo‘qotadi. Bu qonuniyat akslangan elektronlarda
tasvir olishda ishlatiladi.
6.16. – rasm. Jism sirtini elektronlar (zond) oqimi bilan nurlantirlganda
signallarni hosil bo‘lish sohasi. 1 – Oje – elektronlar, 2 – ikkilamchi elektronlar, 3
– akslangan elektronlar, 4 – xarakterli rentgen nurlanishlari, 5 – sekinlashuvchi
rentgen nurlanishlari, 6 – fluoressensiya.
1
2
3
4
5
6
E=0
1nm
1
-10
nm
0,
1
-1
nm
0
,2
-2
nm
zond
d
