sferik aberratsiyalar va mikroskop obyektividagi difraksiyalar




Download 4,13 Mb.
Pdf ko'rish
bet80/124
Sana31.05.2024
Hajmi4,13 Mb.
#258278
1   ...   76   77   78   79   80   81   82   83   ...   124
Bog'liq
NANOTEXNOLOGIYA ASOSLARI (UMUMIY) 22.06.2020 (1)

sferik aberratsiyalar va mikroskop obyektividagi difraksiyalar
o‘tkazadi. 
Sferik aberratsiyani kamaytirish uchun apertur burchakni kamaytirish zarur. 
Ammo ( ning ma’lum bir kattaliklarida apertura burchagi kamayishi bilan ortib 
boradigan difraksiya kuchayadi. Demak, apertur burchakning shunday kattaligini 
tanlash lozimki, bunda eng kichik ruxsat etilgan masofa 
dp, 
ya’ni eng katta ajrata 
olish qobiliyatini ta’minlash mumkin bo‘lsin.
Ikkala faktor hisobiga yuzaga keladigan buzilishlarni
сф
диф
d
d
d


(6.2)
orqali belgilab, (6.1) ni (6.2)


sin
61
,
0
n
d
p

(6.3) 
ga qo‘yib, 



sin
deb quyidagi formulani yozish mumkin: 


146 
3
61
,
0



сф

диф
С
d
d
d




(6.4) 
Bu tenglikning hosilasini nolga tenglab, optimal apertur burchakni 
aniqlaymiz: 
4
2
,
0
сф
опт
С



(6.5) 
Α
opt 
qiymatini (6.4) ga qo‘yib eng kichik ruxsat etilgan masofani quyidagi formula 
yordamida hisoblash mumkin. 
4
12


ñô
p
C
d

(6.6) 
Elektronlarni tezlashtiruvchi kuchlanish 100 kV va magnit linza hosil 
qilayotgan maydonning maksimumidagi qiymati 10000 erg ga mos keluvchi 
to‘lqin uzunligi uchun nazariy ravishda hisoblab chiqilgan eng kichik ruxsat 
etilgan masofa 2 Å ga tengligi aniqlandi va bu qiymat elektron mikroskoplarni 
modifikatsiya qilishda oriyentir vazifasini bajardi. Bunda foydali kattalashtirishlar 
2

10

va undan yuqori qiymatlarga erishishi mumkin. Uzoq vaqt davomida ajrata 
olish qobilyatini chegaralanib qolishiga yuqorida keltirilgan shartlar emas, balki 
texnologik va konstruktiv xususiyatga ega bo‘lgan sabablar olib kelgan. Bu 
sabablarga, birinchi navbatda mikroskop linzasi maydoni aksial simmetriyasining 
buzilishi, magnit o‘tkazgich materiallarining bir jinsli bo‘lmasligi kiradi. Bundan 
tashqari elektron mikroskoplarda hamma elementlarning yuqori darajadagi 
yustirovkasini amalga oshirish lozim. Oz miqdordagi og‘ishlar ham simmetriya 
o‘qi 

Download 4,13 Mb.
1   ...   76   77   78   79   80   81   82   83   ...   124




Download 4,13 Mb.
Pdf ko'rish

Bosh sahifa
Aloqalar

    Bosh sahifa



sferik aberratsiyalar va mikroskop obyektividagi difraksiyalar

Download 4,13 Mb.
Pdf ko'rish