159
imkoniyatidan aniqlanadi. Omillar ma‟lum va ushbu funksiyalarga
monotonmas bog„liq bo„lishi kerak.
Maqbullashtiruvchi omillar miqdorlarining o„ziga xosligiga mos
holda ikkita amal ajratiladi:
- omillarning maksimal soni hisobga olingan holda mavjud
bo„lmagan ob‟ekt modellashtirilganda maqbul loyihalash.
- kerakli sondagi omillar hisobga olingan holda mavjud ob‟ekt
modellashtirilganda maqbul boshqarish.
Va
nihoyat,
maqsadli
funksiyani
aniqlash
bosqichida
maqbullashtirish me‟zoni va maqbullashtirish omillari o„rtasidagi
miqdoriy bog„liqlik o„rnatiladi. Bu yerda analitik va emperik
yondashuvni amalga oshirish mumkin.
Analitik
yondashuvda
maqbullashtirish
me‟zoni
bilan
maqbullashtiriladigan omillar o„rtasidagi bog„liqlikni
ifodalash uchun
amalda matematik tenglamalar ko„rinishdagi fizik-kimyoviy, tashkiliy
iqtisodiy va boshqa jarayonlarni ifodalovchi determinirlangan
modellash ishlatiladi.
Empirik yondashuvda maqbullashtiruvchi ob‟ekt uchun olingan
diskret ma‟lumotlar to„plamini matematik qayta ishlash natijalaridan
tuziladigan statistik modellar ishlatiladi. Amaliyotda ishlab chiqarishda
jarayonlarni maqbullash uchun ko„proq
empirik yondashuvdan
foydalaniladi. Ushbu yondashuv ishonchli, lekin qo„llanilishi
chegaralangan natijalarga olib keladi.
Maqbul sharoitni izlashning hisoblash bosqichi ko„plab usullarda
bajarilishi mumkin va ular atroflicha maxsus adabiyotlarda qaraladi.
Maqbullashtirishning yakuniy topilgan maqbul sharoitlarni
amaliyotga joriy etish bosqichi laboratoriya yoki ishlab chiqarish
variantlarida amalga oshirilish mumkin. Topilgan maqbul texnik
sharoitlarning ishlab chiqarishni amalga oshirishning dastlabki bosqichi
ularning bajariluvchini quyidagilarni hisobga olgan holda tahlil etishdir:
1) berilgan texnologik jarayonning qurilma harakteristkalarini
hisobga olgan
holdagi texnik imkoniyatlari;
2) iqtisodiy jihatdan maqsadga muvofiqligi (sarf-harajat, foyda);
3) sifat ko„rsatkichlarining saqlanish imkoniyati agar ular
maqbullashtirish me‟zonlari sifatida qabul qilinmagan bo„lsa;
4) ekologikchanlik va mehnat xavfsizligining ta‟minlanganligi.
160
Ushbu o„quv fani bo„yicha laboratoriya amaliyoti doirasida
“empirik” yondashuvdan foydalanib, turli mahsulotlarni, jumladan
elektron texnikasi materiallarini ishlab chiqarish texnologik jarayonni
maqbullashtirish mavzusidagi ishni bajarishda
talabalar berilgan
texnologik jarayonni chegara shartlari ma‟lum bo„lganda bir o„lchamli
bir me‟zonli parametrli maqbullash misolida kimyoviy texnologik
jarayonlarni maqbullashtirishning algoritmi o„rganiladi.
Maqbullashtirish vazifasiini qo„yilish bosqichida talabalar
jarayonning u yoki bu texnologik parametrining ekstremumga bog„liq
bo„lgan maqbullashtirish me‟zonini tanlash kerak. Bu esa talabalarda
berilgan jarayon haqida tasavvurga ega bo„lishi nazarda tutadi.
Amaliyotda qurilmada boradigan fizik-kimyoviy jarayonlar va
texnologik muhitning ko„p komponentligining murakkabligi, jarayon
chiqish ko„rsatkichlarining uning kirish
texnologik parametrlariga
bog„liqligida aynan ekstremallik kuzatiladi. Yarim o„tkazgichli asboblar
ishlab chiqarishning qator tayanch texnologik jarayonlari uchun asosiy
texnologik parametrlar va ko„rsatkichlar 8.3-jadvalda berilgan.
8.2-jadval
Elektron texnika mahsulotlari tayanch ishlab chiqarish jarayonlarning
maqbullashtirish parametrlari
Jarayonning
nomi
Texnolgik parametrlar
(maqbullashtiriladigan
omillar)
Jarayon
ko„rsatkichlari
(maqbullashtirish
me‟zoni)
1.Epitaksiya
Reaksion gaz aralash-
masi komponentlari-ning
konsentratsiyasi,
gaz
aralashmaning
sar-fi,
temperatura,
bosim,
davomiylik
Plyonka
tarkibi,
plyonkaning
o„sish
tezligi, plyonka qa-
linligi,
joylashuv
zichligi,
sirt elek-tr
qarshiligi
2.Magnetronli
egovlash
Nishon
tarkibi
va
o„lchamlari, yostiq tabi-
ati, tezlatuvchi kuchla-
nish,
uchqun
quvvati,
ionli tok, gaz muhitning
tarkibi,
yostiq
temperaturasi, konteyner
Plyonka
tarkibi,
o„sish tezligi, qa-
linlik,
kristallar
o„lchami,
zichlik,
yostiq sirtiga adge-
ziya,
strukturli
diffektlarning
161
harakatining
tezligi,
bosim, davo-miylik
bo„lishi
3.Kremniyni
oksidlash
Reaksion
gaz aralashma-
si
komponentlarining
konsentratsiyasi,
gaz
aralashmaning
sarfi,
temperatura,
bosim,
davomiylik
Plyonka
tarkibi,
plyonkaning
o„sish
tezligi,
plyonka
qalinligi, zichlik, sirt
holatining
zichligi,
elektrik
mustahkamlik,
di-
elektrik
o„tkazuv-
chanlik
4.Suyuqli tirnash
Tirnovchi tarkibi, tem-
peratura,
davomiylik,
barbotirlovchi gaz sar-fi
Tirnash
tezligi,
tirnalgan
sohaning
geometrik
para-
metrlari (lokal tirnash
uchun),
tirnash
selektiv-ligi,
olib
tashlash-ning
to„liqligi
(ochiq
tirnash uchun)
5.Plazmokimyoviy
tirnash
Reaksion gaz aralash-
masi komponentlari-ning
konsentratsiyasi,
gaz
aralashmaning
sarfi,
chaqnash quvvati, yostiq
temperaturasi,
bosim,
davomiylik
Tirnash
tezligi,
tirnalgan
sohaning
geometrik
para-
metrlari (lokal tirnash
uchun),
tirnash
selektiv-ligi
va
anizotrop-ligi,
olib
tashlash-ning
to„liqligi
(ochiq
tirnash uchun)
6.Ionli
implantatsiya
Manbaalar
tarkibi,
tezlatgichli
kuchlanish,
ionli tok, doza, bosim,
davomiylik
Ligerlangan
qavat
qalinligi,
elektr
qarshiligi, radia-sion
defektlar
konsentratsiyasi,
ligerlangan soha-ning
chiziqli o„lchamlari
7.Eritmadan
qotishmaga
Dastlabki
reagentlar
tarkibi, boshlang„ich va
Kristall
tarkibi,
kristallning
o„sish
162
monokristallni
o„stirish
oxirgi
temperatura,
eritmaning sovush tezligi,
bosim, gaz muhitining
tarkibi,
kristallning
cho„zilish tezligi
tezligi,
kristall-ning
chiziqli o„lchamlari
8.Keramik
buyumlar
tayyorlanmasini
yaxlitlash
Shixta
tarkibi,
gaz
muhitining
tarkibi,
temperatura, davomiy-lik
O„tirish
koeffi-
siyenti,
buyumning
chiziqli o„lchamlari,
magnit parametr-lari,
zichlik, g„ovak-lik
9.Plyonkani
qo„yish
Shliker tarkibi, shli-ker
sarfi, lentaning harakt
tezligi,
yostiq
temperaturasi,
yostiq
tabiati
Plyonka
qalinligi,
g„ovaklik,
namlik,
geometrik o„lchamlar
