|
Dastlabki taglikni yuzasini tayyorlash
|
| bet | 5/5 | | Sana | 02.12.2023 | | Hajmi | 57,57 Kb. | | #109909 |
Bog'liq jamshidbek1 Dastlabki taglikni yuzasini tayyorlash. Dastlabki taglikni yuzasini tayyorlash fotorezistning taglik materialga adgeziyasiga (yopishqoqligiga) katta ta’sir ko‘rsatadi. Dastlabki taglik qanchalik darajada toza bo‘lsa, fotorezistning yopishqoqligi shunchalik darajada yuqori bo‘ladi.
Planar texnologiyada fotolitografiya jarayonlarini amalga oshirish uchun fotoandozalar qo‘llaniladi.
Fotoandoza (FA) fotolitografiya jarayonining asosiy kuroli bulib, uning yordamida FR katlamini mikrosxema topologiyasiga mos xolda lokal yoritiladi.
FA - ultra binafsha nurni yaxshi utkazuvchi ishchi yuzasiga mikrosxemaning malum bir katlami topologiyasiga mos keluvchi plenkali (yoruglikni utkazmaydigan) rasm xosil kilingan tekis plastina yoki egiluvchan polimer plenkadir. FA tayyorlash uchun optik borosilikat shisha yoki polimer plenka ishlatiladi.
Plenkali rasm xosil kilish uchun kumush- galoidli fotoemul’siyadan foydalanilsa metall FA deyiladi va kurinuvchi yoruglikni kisman utkazuvchi oksidlar yoki boshka materiallar plenkasi foydalanilsa rangli FA lar deyiladi.
FA larni yarim utkazgich plastinasiga tez- tez jipslashtirish natijasida u yediriladi. Emulsion FA lar 20 ta operatsiyaga yariydi, metall FA lar 500 ta operatsiyaga yaraydi.
FA tayyorlashning bir kancha usullari mavjud. Optik mexanik usul bilan FA tayyorlash uchun oreginal rasmni 100-1000 marta kattalashtirib yoruglik utkazmaydigan lak surilgan oynaga chiziladi. Lakni kesish uchun olmasli yoki karbid volframli keskichdan foydalaniladi. Oreginal rasm utuvchi yoruglikda (tiniklikni oshirish uchun) 50÷100 marta kichraytirib fotoplastinkaga rasmga olinadi.
|
| |
