|
Kontaktli fotolitografiya Reja. Fotolitografiya texnologiyasini o‘rganish 2
|
| bet | 2/5 | | Sana | 02.12.2023 | | Hajmi | 57,57 Kb. | | #109909 |
Bog'liq jamshidbek1Fotorezistlar. Fotorezistlar (FR) kislota va ishkorlarga chidamli, ma’lum tulkin uzunligidagi yeruglikka sezgir moddalardir.
YEruglik ta’sirida eruvchanligi ortuvchi FR lar pozitiv FR lar deyiladi, aksincha yeruglik ta’sirida erimaydigan xolatga utuvchi FR lar negativ FR lar deyiladi.
Pozitiv FR dan foydalanilganda FSh dagi rasm yarim utkazgichli plastinada xuddi shunday xosil buladi.
Negativ FR dan foydalanilganda rasmning aksi xosil buladi.
Yarim utkazgichli IS lar texnologiyasida negativ FR sifatida polivinil sinnamat (PVS)- polivinil spirti murakkab efiri va korichna kislotasi ishlatiladi. Yoruglikka sezgirlik soxasi ultra binafsha nur. Poroshok shaklida bulib ok yoki sarik ranga ega. Organik eritgichlar toluol+xlorbenzol, atsetat metilinglikol+metoksilol aralashmalarida eriydi.
FR katlamining kislotaga chidamliligi HF va HNO3 kislotalarida katta emas. Ximoyalovchi FR katlami kalinligi 0,5 mkm bulganda kremniyda yemirish mumkin bulgan chukurlik 10 mkmdan, germaniyda 40 mkmdan oshmaydi.
Planar texnologiyasida PVS FR ti SiO2 katlamini yemirgichdan ximoya kilish uchun ishlatiladi.
Pozitiv FR sifatida 1,2-naftoxinandiazit (2)-5-novolak sulfo efirining turli polimerlaridan iborat aralashma ishlatiladi. Eritgich sifatida spirtlar, ketonlar, aromat uglevodorodlar, dioksan ksilol ishlatiladi. NXDA- naftoxinandiazit FR tining yoruglikka sezgirligi ultra binafsha yoruglikda PVS FR tiga nisbatan katta tulkin uzunligi tomonga surilgan. FR ning asosiy parametrlari:
- yoruglikka sezgirligi: xosil kilingan shaklning anikligi.
- ajratish kobilyati: FR yordamida 1mm da xosil kilish mumkin bulgan chiziklar soni.
- kislotaga chidamliligi: ayrim nuktalar va kirralarning kislotada yemirilish darajasi bilan baxolanadi.
Fotorezistlarning asosiy turlari va parametrlari
|
| |
