|
Kontaktli fotolitografiya Reja. Fotolitografiya texnologiyasini o‘rganish 2
|
| bet | 1/5 | | Sana | 02.12.2023 | | Hajmi | 57,57 Kb. | | #109909 |
Bog'liq jamshidbek1
Kontaktli fotolitografiya
Reja.
1.Fotolitografiya texnologiyasini o‘rganish
2.Fotolitografik jarayonning nosozliklarini aniqlashni tadqiq qilish
Fotolitografiya texnologiyasini o‘rganish
Fotolitografiya deganda taglik yuzasida yorug‘lik sezgir materiallar yordamida plyonkaning lokal ximoya qatlamlarini (mikrotasvirni) xosil qilish tushuniladi, ya’ni bu relef qurilma yoki sxemaning topologik ko‘rinishini takrorlaydi va bu mikrotasvirni monokristall taglikka ko‘chiradi.
Fotolitografiya yarimo‘tkazgich asboblar va integral mikrosxemalarni ishlab chiqarishning asosiy texnologik jarayoni xisoblanadi. Bu texnologiyaning moxiyati quyidagicha. Maxsus ishlov berilgan plastinaning (taglikning) yuzasiga yorug‘lik sezgir material fotorezistning yupqa qatlami qoplanadi. Fotorezist qurigandan so‘ng dastlabki plastina yuzasida mustaxkam plyonka xosil bo‘ladi. Fotorezistning bu plyonkasini aktivlashtirilgan yorug‘lik yordamida fotoandozaga taqab (siqib) nurlantirilganida uning xossalarini o‘zgarishiga olib keladi. Fotorezist plyonkasini aktivlashtirish va polimerlash bilan unda kerakli tasvir relefini xosil qilish imkoniyatini beradi.
Fotolitografiya (FL) ning asosi kuyidagidan iborat. Yarim utkazgichli plastina sirtiga yupka katlam yeruglik sezgir lak - fotorezist (FR) suriladi. FR katlami kuritilgandan sung plastina ustiga fotoshablon (FSh) (plastinaga kuchirish kerak bulgan rasm xosil kilingan shisha fotoplastinka) kuyiladi. FR surilgan yarim utkazgichli plastinkaning ustiga FSh kuyib yeritilsa (binafsha, ultrabinafsha nur bilan), FR ning yeruglik tushgan soxalari:
- negativ FRlarda ochiltiruvchi (proyavitel)da erimaydigan bulib koladi, yeritilmagan soxalari erib ketadi;
- pozitiv FR larda esa yeritilgan soxalari eruvchan tuzga aylanadi va ochiltiruvchida erib ketadi, yeritilmagan soxalari erimaydi.
FR katlamida xosil bulgan darchalar orkali yarim utkazgichli plastina yeki plenka ximiyaviy yemiriladi.
|
| |
