233
V-BOB.
NANOPLYONKALAR
OLISHNING
ASOSIY
TEXNOLOGIYALARI..................................................................................
113
5.1. Metall va yarim o‘tkazgich chegarasidagi qatlamning tuzilishi..............
113
5.2. Yarim o‘tkazgich va yarim o‘tkazgich orasidagi chegaraviy qatlam......
116
5.3. Molekulyar nurli epitaksiya.......................................................................
118
5.4. Qattiq fazali epitaksiya usuli bilan olingan
plyonka va asos orasidagi
chegaraviy qatlam.............................................................................................
124
5.5. Kichik energiyali ionlar implantatsiyasi....................................................
126
5.6. Termovakuumli bug‘lantirib o‘tkazish......................................................
128
5.7. Dielektriklarning yupqa himoya qatlamlarini hosil qilish texnologiyasi..
132
VI-BOB.
ELEKTRON
OPTIKA
VA
ZAMONAVIY
MIKROSKOPLAR
YORDAMIDA
NANOPLYONKALARNI
O‘RGANISH USULLARI...........................................................................
141
6.1.Elektron mikroskopda tasvirlar hosil qilish...............................................
141
6.2.Yorituvchi elektron mikroskoplarning magnitli va elektrostatik turlari...
146
6.3.Yorug‘lik mikroskopining ishlash prinsipi va ishlash chegaralari...........
151
6.4.Elastik qaytgan elektronlar mikroskopining
tuzilishi va ishlash
tamoyillari..........................................................................................................
