|
Oliy ta’lim, fan va innovatsiyalar vazirligi islom karimov nomidagi toshkent davlat texnika universitetining qo‘qon filiali
|
| bet | 3/15 | | Sana | 08.12.2023 | | Hajmi | 434,72 Kb. | | #113980 |
Bog'liq Yarimo`tkazgichlar laboratoriya 7-sinf, 1. Tugun nuqtalar va ularni birlashtiruvchi yoylar to’plami nima, I. Dars mavzusi Kvadrat tenglama va uning ildizlari, eksperimental psixologiya, 11, Iqtisodiy rivojlanish 2 topshiriq (3), tavfsiya, akademik yozuv, 5- sinf texnologiyamonitoring test, AMERIKA VA KANADA LOGISTIKASI, bjskjskjsbsh, mustaqil ishOllonazar, 20 10 6 Fuqaro muhofazasi bo‘yicha mutaxassislarni malakasini oshirishda, moliya bozori. RR, KIBERXAVFSIZLIK ASOSLARILaboratoriya ishi №1
Yarim o‘tkazgichlarga mexanik ishlov berishni tadqiq qilish
Ishning maksadi: Yarim o‘tkazgich materiallarga mexanik ishlov berish usullarini o‘rganish.
Nazariy qism
IS lar asosan kremniy monokristalidan tayerlanadi, bunga sabab nisbatan sodda usul bilan xosil kilinadigan SiO2 katlami yukori sifatlidir. Katta diametrli Si monokristalini olish texnologiyasi ancha arzon va yaxshi uzlashtirilgan
Kremniy monokristall kuymasidan kirkib olingan va ma’lum mexanik va kimeviy ishlov berilgan plastina IS tagligi deyiladi.
Si ga mexanik ishlov berish
Si kuymasidan plastina kirkish uchun olmos kukuni surilgan metall diskdan foydalaniladi.Disk kalinligi 0.1- 0.15 mm.Kirkuvchi uskuna
Ushlagich (derjatel) ning siljish tezligi 40-50 mm/min. Kuyma diametri 60 mm dan katta bulganda 20-30 mm/min. Bitta plastina kirkilgandan keyin avtomatik sistema kuymani boshlangich xolatiga kaytaradi va ma’lum oldindan berilgan masofaga pastga siljiydi (plastina kalinligiga). Kirkilgan plastina sirtida obraziv material (poroshok) ta’siri tufayli monokristall struktura buzilgan katlam yuzaga keladi, bu katlam kalinligi 10-30 mkm bulib 7-8 klass tozalikka tugri keladi. IS xosil kilish uchun esa plastini sirtidagi notekislik 0.02 -0.1 mkm dan oshmasligi kerak bu esa 14-chi klass tozaligidan xam yukori tozalikdir.Bunday tekislikka erishish uchun plastinalar mikroporoshoklar yerdamida maxsus yukori aniklikdagi stanoklarda jilvirlanadi (shlifovka) sungra saykallanadi (polirovka). M14-M15 mikroporoshok yerdamida shlifovka kilinganda shishali shlifovalnik ishlatiladi.Olmos pastasi yerdamida polirovka kilinganda shlifovalnik sirti lattali buladi.
Plastinaning 2 tomoni shlifovka kilinadi. Polirovka esa fakat IS xosil kilinadigan yuzasi kilinadi.M14 - mikrokukun (mikroporoshok)da kukunlar ulchami (razmer zerna) 14-10 MKM, M10-mikrokukunda esa (razmer zerna) 10-7mkm.ASM-3/2- sintetik almazli kukun (almaznыy sinteticheskiy poroshok) 3/2 - kukunlari ulchami (zernistost) yiriklari (krupnыy) 3 mkm maydalari (melkiy) 2 mkm.
Mikrokukun
|
Buzulgan katlam kalinligi, mkm
|
Plastinka sirtining tozalik klasi
|
M14
|
20-30
|
7
|
M10
|
15-25
|
8-9
|
ASM 3/2
|
9-11
|
12-13
|
ASM 1/0.5
|
5-7
|
13
|
ASM 0.5/0.3
|
3-dan kichik
|
13-14
|
ASM 0.3/0.1
|
1-dan kichik
|
14
|
Yarim utkazgichli asboblar va IS lar ishlab chikarishda kuyidagi obraziv materiallar ishlatiladi:
Olmos - sanoatda grafitdan yukori bosim va temperatura xosil kilingan su’niy olmos ishlatiladi.
Karbid kremniy - kremniyning uglerod bilan ximiyviy birikmasi .
Ximiyaviy tozasi rangsiz , yashildan kora rangachan buladi. Kora rangligi kattikligi kam buladi.
Karbid bor - borning uglerod bilan ximiyaviy birikmasi.
Elektrokorund- kristalli alyuminiy oksidi. Al 2O3 ok modda. Sanoatda uch xil elekrokorund ishlab chikariladi: Ok - 98,5 — 99,5%
Al 2O3 bor; normal elektrokorund - 91- 96 % Al 2O3 bor ; kora elektrokorund 65-75 % Al 2O3 bor.
Xrom oksidi - yashil rangli kukun ( poroshok).
Aerosil - govak kukimtir - ok kukun, toza kremniy ikki oksidi.
Kuyidagi markalari ishlab chikariladi A-175, A-300, A- 380, zarralarining urtacha ulchami mos ravishda 10 - 40 , 5- 20, 5- 15 mkm.
Yarim utkazgichli plastinkalardan kristall kirkish.
Yarim utkazgichli plastinkalardan kirkish usullari:
- Olmosli disk yordamida kirkish;
- metall simlari bilan obraziv material yordamida kirkish;
- ultratovush kurilmasida kirkish;
- olmos chizgichda chizib, sungra sindirish;
- elektron - nur dastasi bilan chizib , sungra sindirish;
- lazer nurida chizib, sungra sindirish.
|
|
Bosh sahifa
Aloqalar
Bosh sahifa
Oliy ta’lim, fan va innovatsiyalar vazirligi islom karimov nomidagi toshkent davlat texnika universitetining qo‘qon filiali
|
