|
Tayyorlash va ularning malakasini oshirishni tashkil etish bosh ilmiy metodik markazi toshkent davlat texnika universiteti huzuridagiBog'liq majmua 2N(x,t) = No[1-exp(x/2(Dt)´
1/2
]
(6)
bu erda N – konsentratsiya, D – diffuziya koeffitsienti, t – vaqt, No – kirishmalar
atomlarining yuzadagi konsentratsiyasi.
Eksperimental tadqiqotlardan aniqlanishicha, kirishmalar taqsimoti ancha
murakkab bo‘lib, bunga asosiy sabab diffuziya koeffitsienti D ning yarim
o‘tkazgichli materialdagi vakansiyalar konsentratsiyasiga bog‘liqligidir.
Diffuziya jarayoni o‘tkazishga misollar, jarayonni o‘tkazish tartibi. Diffuziya
jarayonini o‘tkazish ma’lum tartibda olib boriladi. Bular jumlasiga: yarim
o‘tkazgichli materialni tayyorlash (mexanik va ximik ishlov berish), kirishmalar
manbaini tayyorlash (Kirishmalar kiritish yo‘nalishini tanlash), jarayon o‘tkazish
rejimini tanlash, hisoblash va hokazolar, diffuziya o‘tkazish, kirishmalar
konsentarsiyasini va chuqurligini aniqlash, kirishmalar taqsimotini o‘rganish,
jaraѐn o‘tkazilish rejimiga tuzatishlar kiritish, qayta diffuziya o‘tkazish va
hokazolar. Ayrim hollarda (shu jumladan QE larini tayyorlashda ham) diffuzion
qatlamlar elektr tokiga qarshiligini kamaytirish uchun qatlamlar maksimal
qiymatgacha
kirishmalar
kiritiladi
(berilgan
harorat
uchun
chegaraviy
eruvchanlikka qadar). Misol 1-Rasmga qarang. Bu hol uchun , diffuzion jarayon
davomida yarim o‘tkazgichli material sirtida konsentratsion plato hosil bo‘ladi va
undagi kirishmalar konsentratsiyasi chegaraviy eruvchanlik qiymatiga teng bo‘ladi.
Materialni diffuzion jarayondan keyingi sovutish davomida yuqori konsentratsiyali
kirishmalar kremniyda har xil kristallik nuqsonlar.
Rasm 1.
Diffuziya jaraѐni o‘tkazishning har xil vaqtlari uchun fosforning
kremniydagi diffuzion profili. (diffuziya o‘tkazish harorati 950 oS, diffuziya
|
|
Bosh sahifa
Aloqalar
Bosh sahifa
Tayyorlash va ularning malakasini oshirishni tashkil etish bosh ilmiy metodik markazi toshkent davlat texnika universiteti huzuridagi
|
