Tayyorlash va ularning malakasini oshirishni tashkil etish bosh ilmiy metodik markazi toshkent davlat texnika universiteti huzuridagi

3- amaliy mashg‘ulot: Quyosh elementlari tayyorlashning diffuziya 
yordamida strukturalar olish usullarini tadqiq etish. 
Ishdan maqsad: 
Quyosh elementlari tayyorlashning diffuziya yordamida 
strukturalar olish usullarini tadqiq etish. 
Hozirgi zamon QE texnologiyasida diffuziya yordamida tuzilmalar tayorlash 
asosiy yunalishlardan hisoblanadi. Hozirgi vaqtda butun dunyoda tayyorlanayotgan 
kremniy asosidagi QE larining asosiy qismi diffuzion texnologiya vositasida 
olinadi. Qisqacha diffuziya jarayonini ko‘rib o‘tamiz.
Diffuziya jarayonida modda oqimining zichligi Fikning birinchi qonuniga asosan 
quyidagicha ko‘rsatiladi. 
Ia = D grad C
(3),
grad C = dC/dx
(4) 
YA’ni bu jumla X o‘ki yo‘nalishida konsentratsiya o‘zgarishini ko‘rsatadi. Bu 
erda, D – diffuziya koeffitsienti, sm
2
/sek o‘lchanadi va bu koeffitsient berilgan 
konsentratsiya gradienti qiymatida moddalar oqimining qiymatini ko‘rsatadi. 
Fikning ikkinchi qonuniga asosan konsentratsiyaning vaqtga nisbatan o‘zgarishi 
DC/dt = D d
2
C/dx
2 

(5) 
ga teng bo‘ladi. 
Umuman yarim o‘tkazgichli asbobsozlik texnologiyasida keng imkoniyatliligi, 
samaradorligi va ko‘p qavatli qatlamlar olish imkoniyati osonligi, kirishmalar 
konsentratsiyasini o‘zgartirish imkoniyati mavjudligi bilan boshqa usullardan farq 
qiluvchi usul bu diffuziya usulidir. Kirishmalarni diffuziya hududiga etkazish 
imkoniyatini hisobga olgan holda bu usulni quyidagi yunalishlarga bo‘lish 
mumkin. 
A) Gaz yoki bug‘ holatidan foydalanib diffuziya qilish. 
B) Iqtidorligi chegaralangan manbadan diffuziya qilish (M: elektrolitik yoki 
vakuumda uchirish yo‘li bilan olingan yupqa qatlamlardan diffuziya qilish).
V) YArim o‘tkazgichli material ustiga ma’lum usullar bilan o‘tqazilgan (surtilgan 
yoki sentrifuga yordamida o‘tqazilgan yupqa qatlamlarga kerakli kirishma uning 
tarkibida bo‘lgan) yupqa oksid qatlamlardan diffuziya qilish.

G) Asosiy materiali inert va unga aktiv kirishma kiritilgan qattiq jismlardan 
diffuziya qilish usuli.
Kremniyda diffuziya jarayoni FIK qonuniga to‘liq bo‘ysinadi va unga asosan 
kirishmalar konsentratsiyasi taqsimoti chegaralanmagan quvvatli kirishma manbai 
holi uchun quyidagi tenglama bilan aniqlanadi. 

Download 1,73 Mb.