3- amaliy mashg‘ulot: Quyosh elementlari tayyorlashning diffuziya
yordamida strukturalar olish usullarini tadqiq etish.
Ishdan maqsad:
Quyosh elementlari tayyorlashning diffuziya yordamida
strukturalar olish usullarini tadqiq etish.
Hozirgi zamon QE texnologiyasida diffuziya yordamida
tuzilmalar tayorlash
asosiy yunalishlardan hisoblanadi. Hozirgi vaqtda butun dunyoda tayyorlanayotgan
kremniy asosidagi QE larining asosiy qismi diffuzion texnologiya vositasida
olinadi. Qisqacha diffuziya jarayonini ko‘rib o‘tamiz.
Diffuziya jarayonida modda oqimining zichligi Fikning
birinchi qonuniga asosan
quyidagicha ko‘rsatiladi.
Ia = D grad C
(3),
grad C = dC/dx
(4)
YA’ni bu jumla X o‘ki yo‘nalishida konsentratsiya o‘zgarishini ko‘rsatadi. Bu
erda, D – diffuziya koeffitsienti, sm
2
/sek o‘lchanadi
va bu koeffitsient berilgan
konsentratsiya gradienti qiymatida moddalar oqimining qiymatini ko‘rsatadi.
Fikning ikkinchi qonuniga asosan konsentratsiyaning vaqtga nisbatan o‘zgarishi
DC/dt = D d
2
C/dx
2
(5)
ga teng bo‘ladi.
Umuman yarim o‘tkazgichli asbobsozlik texnologiyasida keng imkoniyatliligi,
samaradorligi va ko‘p qavatli qatlamlar
olish imkoniyati osonligi, kirishmalar
konsentratsiyasini o‘zgartirish imkoniyati mavjudligi bilan boshqa usullardan farq
qiluvchi usul bu diffuziya usulidir. Kirishmalarni
diffuziya hududiga etkazish
imkoniyatini hisobga olgan holda bu usulni quyidagi yunalishlarga bo‘lish
mumkin.
A) Gaz yoki bug‘ holatidan foydalanib diffuziya qilish.
B) Iqtidorligi chegaralangan manbadan diffuziya qilish (M: elektrolitik yoki
vakuumda uchirish yo‘li bilan olingan yupqa qatlamlardan diffuziya qilish).
V) YArim o‘tkazgichli material ustiga ma’lum usullar bilan o‘tqazilgan (surtilgan
yoki sentrifuga yordamida o‘tqazilgan yupqa qatlamlarga
kerakli kirishma uning
tarkibida bo‘lgan) yupqa oksid qatlamlardan diffuziya qilish.
G) Asosiy materiali inert va unga aktiv kirishma kiritilgan qattiq jismlardan
diffuziya qilish usuli.
Kremniyda diffuziya jarayoni FIK qonuniga to‘liq bo‘ysinadi
va unga asosan
kirishmalar konsentratsiyasi taqsimoti chegaralanmagan quvvatli kirishma manbai
holi uchun quyidagi tenglama bilan aniqlanadi.
