Песпективы развития фундаментальных наук
Международная научно-техническая конференция «Практическое применение технических и
цифровых технологий и их инновационных решений», ТАТУФФ, Фергана, 4 мая 2023 г.
418
vectors to the plane using the maple system. Scientific Bulletin of
Namangan State
University, 2(9), 336-342.
2. Nazarova, G. (2021). Methods of directing economics to scientific
research activities. Current research journal of pedagogics (2767-
3278), 2(06), 90-95.
3. Плахова, В. Г. (2009). Формирование математической
компетенции у студентов технических вузов. Плахова ВГ–
Режим
доступа:
http://www.
dslib.
net/teoria-
vospitania/formirovaniematematicheskoj-kompetencii-u-
studentovtehnicheskihvuzov. html.
4. Azizov, M., & Rustamova, S. (2019). The Task of Koshi for ordinary
differential equation of first order
which refer to equation of
Bernoulli. Scientific journal of the Fergana State University, 2(1),
13-16.
5. Hayotov, A., & Rasulov, R. (2021, July). Improvement of the
accuracy for the Euler-Maclaurin quadrature formulas. In AIP
Conference Proceedings (Vol. 2365, No. 1, p. 020035). AIP
Publishing LLC.
6. Abdurazakov, A., Makhmudova, N., & Mirzamakhmudova, N.
(2021). On one method for solving degenerating
parabolic systems
by the direct line method with an appendix in the theory of filration.
KO‘P TARKIBLI MONOKRISTALLAR SIRTIDAN IONLARNING
SOCHILISH JARAYONIDA NOELASTIK ENERGIYa YO‘QOTIShLAR
A.S.Ashirov, N.Matyakubova, U.Urinov, U.Kutliyev
Urganch davlat universiteti Fizika kafedrasi
Bugungi kunda qattik jism yuzasi bilan ionlarning o‘zaro ta’sirida
noelastik energiya yo‘qotilishni o‘rganish juda katta qiziqish uyg‘otadi.
Noelastik energiya yo‘qotilishi qattiq jismda xarakat qilayotgan ionlar bilan
nishon atomlari va elektronlari bilan o‘zaro ta’siri natijasida yuzaga keladi.
Odatda, ion sochilish jarayonida sirtni bombardimon qilayotgan ion qattiq
jismdagi elektron gaz bilan o‘zaro ta’sirlashganda noelastik energiya yuqotilishi
kuzatiladi va bu energiya yo‘qotishlari ionning to‘qnashuvdan keyingi
traektoriyasiga ta’sir qiladi. Tadqiqotlar shuni ko‘rsatdiki, noelastik energiya
yo‘qotishlar umumiy energiya yo‘qotishlarning atigi
bir necha foizni tashkil
Fundamental fanlarni rivojlantirish istiqbollari
Международная научно-техническая конференция «Практическое применение технических и
цифровых технологий и их инновационных решений», ТАТУФФ, Фергана, 4 мая 2023 г.
419
qiladi. To‘qnashuvchi zarrachaning asosiy energiya yo‘qotishlari to‘qnashuvchi
zarrachalar yadrolari bilan elastik ta’siriga bog‘liq. Kiloelektronvolt energiya
qiymatiga ega ionlarning qattiq jism yuzasi bilan to‘qnashuvdagi noelastik
yo‘qotishlar miqdorini tahlil qilish va noelastik yo‘qotishlarni paydo bo‘lish
mexanizmlarni aniqlash fundamental va amaliy nuqtai nazardan katta qiziqish
uyg‘otadi. Biz kichik burchaklarda SiO
2
(001)<110>
sirtini bombardimon
qilayotgan boshlang‘ich energiyasi 5 keV gacha bo‘lgan Ne
+
va Ar
+
ionlarining
sochilishidagi noelastik energiya yo‘qotilishini o‘rganib chiqdiq.
Tushish burchagi
=1
0
,3
0
,5
0
,7
0
,9
0
va 11
0
bo‘lgan boshlang‘ich energiyasi
E
0
=1 keV bo‘lgan Ne
+
ionlarining SiO
2
(001)<110> yuzasidan sochilganda
noelastik energiya yo‘qotishlarini mo‘ljal nuqtasiga bog‘liqligi o‘rganildi.
Tushish burchagi
=1
0
bo‘lganda Ne
+
ionlari faqat sirt atom qatoridan (Si
atomlari)dan sochilganligini va noelastik energiya yo‘qotishlari ushbu
to‘qnashuvda hosil bo‘lganligini ko‘rishimiz mumkin. Yarim kanalning ichki
qismiga bombardimon qilayotgan zarrachalar kira olmaydi.
Tushish
burchagining qiymati
= 3
0
bo‘lganda shuni kuzatish mumkinki, noelastik
energiya yo‘qotishlari sirt atom qatori va birinchi qatlamdagi O atomlari
joylashgan sohasida eng kichik qiymatga ega ekanligi kuzatildi. Lekin noelastik
energiya yo‘qotishlari Si-O va O-Si atom qatorlari orasida esa
kattaroq qiymatga
ega. Bu atom qatorlari orasida ionning traektoriyasi murakkab egri chiziqlardan
iborat bo‘ladi. Ushbu bog‘liqlikdan shuni aytib o‘tish lozimki
= 3
0
bo‘lganda
bombardimon qilayotgan ion sirt yarim kanalining tubigacha yetib bora olmaydi.
Chunki noelastik energiya yo‘qotishlari L=2,12Å jan keyin nol qiymatga teng,
ya’ni keyingi to‘qnashuvlarda energiya yo‘qotishlari elastik xarakterga ega.
=
5
0
va undan katta qiymatlarga ega bo‘lganda sirtga urilayotgan ionlar yarim
kanal tubidagi atomlardan ham sochilganini kuzatishimiz mumkin.
= 5
0
bo‘lganda noelastik energiya yo‘qotishlari eng katta qiymatga ega bo‘ladi va bu
sirtni bombardimon qilayotgan ionning yarim kanalda murakkab traektoriyalar
bilan xarakat qilgani va to‘qnashuvlar soni ham ortgani bilan tushuntiriladi.
Shuni ta’kidlash lozimki, ushbu bog‘liklikda yarim kanal devorining o‘rtasida
Песпективы развития фундаментальных наук
Международная научно-техническая конференция «Практическое применение технических и
цифровых технологий и их инновационных решений», ТАТУФФ, Фергана, 4 мая 2023 г.
420
tushish burchagining barcha qiymatlarida noelastik energiya yo‘qotishlarini
kamayishi kuzatilganini ko‘rishimiz mumkin. Buning sababi ushbu nuqtada O
atomi joylashgan (L=1,25Å).Shuningdek, ushbu bog‘liklikdan shuni ko‘rish
mumkinki, tushish burchagining katta qiymatlarida (
=5
0
-11
0
) noelastik
energiya yo‘qotishlari tushish burchagining kichik
qiymatlarida Si-O va O-Si
qatlamlar orasida kuzatilgan noelastik energiya yo‘qotishlarining qiymatidan
kichik.
Xulosa o‘rnida shuni aytish mumkinki, sirtni bombardirovka qilayotgan
ionlar atom qatoridan sochilganda noelastik energiya yo‘qotishlarining qiymati
kamayar ekan.
Adabiyotlar
1.
Rabalais, J. Wayne (2003). Principles and Applications of Ion
Scattering Spectrometry: Surface Chemical and Structural Analysis.
John Wiley & Sons, Inc. ISBN 0-471-20277-0.
