|
Интеграл микросхемаларда фотолитография жараёни ва фоторезист тушунчаси
|
| bet | 6/21 | | Sana | 22.05.2023 | | Hajmi | 0.51 Mb. | | #63034 |
Bog'liq Электроника фанининг мазмуни, электрониканинг ривожланиш бос ичл 5-amaliy ish\', 3-Amaliy topshiriqlari (1)Интеграл микросхемаларда фотолитография жараёни ва фоторезист тушунчаси.
Фотолитография - яримўтказгич пластинадаги металл ёки диэлектрик пардалар сиртида маълум шаклдаги локал соҳаларни ҳосил қилиш жараёни. Ушбу соҳалар кимёвий емиришдан ҳимояланган бўлиши шарт. Фотолитография жараёнида ультрабинафша нур таъсирида ўз хусусиятларини ўзгартирувчи, фоторезист деб аталувчи, махсус моддалар ишлатилади.
Аналог ИМС, схемаси.
Analog integral mikrosxemalar aylantirish (qayta ishlash) va signal berish silliq (uzluksiz) kuchlanish o'zgarishlar (yoki joriy) tomonidan amalga oshiriladi. Har qanday aims elementidagi chiqish signali uzluksiz kirish signalining funktsiyasidir. AIMSNING maxsus ishi chiziqli xarakterli chiplar-lineer aims. Lineer integral mikrosxemalar, chiqish signali, biron-bir buzilishsiz oldindan belgilangan daromad (uzatish) nisbati bilan chiziqli kirish funktsiyasi.
Аналог ИМС ларга қўйиладиган талаблар.
AIMSGA qo'yiladigan talablar: minimal kirish signali buzilishi, past shovqin darajasi, past o'tish davri, chiqish signallarining barqarorligi. Odatda, aims sxema turli xil funktsional elementlarni o'z ichiga olgan tartibsiz tuzilishga ega. Shuning uchun, AIMSDA integratsiya darajasi raqamli integral mikrosxemalar (CIMS) ga qaraganda ancha past. Aims ko'pincha gibrid yoki monolitik texnologiya asosida ishlab chiqariladi.
Аналог ИМС ларнинг тавсифланиши.
Ko'p maqsadli kuchaytirgichlar analog signallarning maxsus konvertatsiyasini amalga oshiradi va bajarilgan funktsiyalar bo'yicha tasniflanadi:
— quvvat kuchaytirgichlari - past chastotali kuchaytirgichlar — quvvat manbalari kuchaytirgichlari va uzatuvchi qurilmalar;
— radiochastota kuchaytirgichlari-tor tarmoqli, keng polosali va mikroto'lqinli kuchaytirgichlar;
— oldindan dasturlashtirilgan konvertatsiya qilishni amalga oshiradigan instrumental kuchaytirgichlar — taqqoslagichlar, stabilizatorlar (regulyatorlar), ko'paytirgichlar, konvertorlar, cheklovchilar, chastota tanlash filtrlari va boshqalar.
|
| |
