Mikrooptoelektromexanik o‘zgartirgich ko‘rinishi va parametrlari  Parametrlari

Oliy va o‘rta ta’lim tizimida pedagogik – psixologik muammolarning zamonaviy yechimlari 
Международная научно-техническая конференция «Практическое применение технических и 
цифровых технологий и их инновационных решений», ТАТУФФ, Фергана, 4 мая 2023 г. 
209
Ishlash harorati diapazoni, 

C
-20...+85 
Elementning samarali fotosensitiv maydoni, mm2
1,6 
U = 5 V, nA da POI qorong'u oqim
<5 
Fotooqim U = 5 V, Ee = 0,5 mVt/sm2, mkA
Fotooqim qiymatlarining tarqalishi, %
>4 
POI sezgirligi spektral diapazoni, nm
<10 
FID nurlanishining spektral diapazoni, nm
320-100 
f = 1 MGts, U = 0 V, pF da POI sig'imi
860-890 
U = 15 V, Rn = 50 Ohm, ns da ko'tarilish (tushish) vaqti
<25 
Fotodetektor moduli (PPM) optik signallarni o'zgartiradi, COP va AC 
ning o'tishi natijasida hosil bo'lgan, elektr va bir nechta POIni o'z ichiga oladi. 
POI uchun talablar spektrga bo'lgan talablarni o'z ichiga oladi sezgirlik, tezlik va 
signal-shovqin nisbati, detektivlik yoki uning o'zaroligi bilan belgilanadi qiymat 
- sezgirlik chegarasi. 
 
PID markasi LIRning tashqi ko'rinishi va umumiy o'lchamlari shuni 
ta'kidlash mumkinki, yarimo'tkazgichli POIlarning aksariyati, FPMlarda 
ishlatiladigan zamonaviy OEPPlar dioddir va fototransistorli tuzilmalar Ularning 
qurilmasining soddaligi imkon beradi jismoniy va tizimli optimallikka erishish 
va ta'minlash hodisa nurlanish oqimidan eng to'liq foydalanish FA uchun muhim 
bo'lgan parametrlarning eng yaxshi kombinatsiyasi mavjud FPM OFDa 
foydalanish: yuqori sezuvchanlik va tezlik, keng diapazonda chiziqlilik 
xususiyatlari nurlanish kuchining o'zgarishi. Boshqalar bilan solishtirganda, 
ko'proq murakkab POL, kremniy FD eng yuqori haroratga ega barqarorlik 

Современные решения проблем системы высшего, среднего образования и их решения
Международная научно-техническая конференция «Практическое применение технических и 
цифровых технологий и их инновационных решений», ТАТУФФ, Фергана, 4 мая 2023 г. 
210
xususiyatlari va eng yaxshi ishlash xususiyatlari. Bu barcha afzalliklar FD
sifatida foydalanish uchun asos bo'lib xizmat qiladi. 
Xulasa qilib shuni aytish mumkinki hozirgi vaqtda fan, texnologiya, 
ishlab chiqarish va kundalik hayotimizda mikrooptoelektromexanik qurilmalar 
va tizimlar ishlatilmaydigan sohani topish deyarli mumkin emas. Ular ham fizik, 
ham texnologik jarayonlarning miqdoriy xarakteristikalari va parametrlarini 
o‘lchashda yoki maishiy texnikalarning harakatlanuvchi ob’ektlarni boshqarish 
yoki ma’lumotlarni yig‘ish, uzatish va qayta ishlash uchun xavfsizlik qurilmalari 
va tizimlari sifatida ishlatiladi va signallarining tezligi va sifati aloxida o‘rin 
tutadi buning uchun yangi datchiklar va burchak tezligi o‘zgartirgichlarini 
yaratishning istiqbolli yo‘nalishlaridan biri bu mikroelektromexanik tizimlarni 
jumladan optik tunnel effekti asosida kichikroq og‘irlik va o‘lcham 
ko‘rsatkichlariga va past energiya iste’moliga ega mikrooptoelektromexanik 
(MOEM) o‘zgartirgichlarni yaratishdir. 
FOYDALANILGAN ADABIYOTLAR
1. Friden J. Zamonaviy sensorlar: qo’llanma. M.: Texnosfera, 2005. 
592 b. 
2. Dunzhu X., CHeng Y., Lun K. Mikro-mashinali giroskop tuzilishi va 
sxema texnologiyasining rivojlanishi // Sensorlar. 2014. 14, N 1. P. 
1394-1473. 
3. E. G. Kostsov, mikro va nanoelektromexanikaning zamonaviy holati 
va istiqbollari, Avtometriya. 2009. 45-son, 3-son. S. 3-52. 
4. Raspopov V. YA. Mikromexanik qurilmalar. M .: Mashinostroenie, 
2007. 400s. 

Download 6,64 Mb.