Fosfor diffuziyasi jarayonidan avval orqa tomonga alyuminiy kiritilgan ( 1-
1,5 mkm chuqurlikda) r
+
-tipdagi, ya’ni rr
+
-o‘tish hosil qilish maqsadga
muvofiqdir. Keyin fosfor diffuziyasi ta’sir qilmasligi uchun orqa tomon ma’lum
qalinlikdagi kremniy oksidi bilan berkitiladi.
Fosfor bilan legirlangan diffuzion qatlam olish harorati odatda pastroq bo‘lib
900-950
o
S ni tashkil qiladi. Fosfor kiritish quvvati chegaralangan manba’dan olib
boriladi. Jarayonni qattiq jismli manba’lardan "«yumshoq"» rejimni qo‘llab olib
borish kerak.
«Ulik qatlam» hosil bo‘lish oldini olish uchun ikki stadiyali diffuziya qilish usulini
qo‘llash maqsadga muvofiqdir.
R-p o‘tishning boshqa usullari ham mavjud bo‘lib
bular jumlasiga ionli
legirlash usuli, epitaksiya qilish vositasi kiradi. O‘z navbatida epitaksiya qilish
vositasining turli yo‘llari mavjud,
jumladan, gaz fazali epitaksiya usuli,
suyuq
fazali epitaksiya usuli, molekulyar nurli epitaksiya usuli.
