Eritmadan o‘stirish usullari
Eritmadan o‘stirishning ayrim usullarini qisqacha ko‘rib o‘tamiz.
1)To‘yintirilgan eritmadan yo‘naltirilgan kristallizatsiya usuli. (18-Rasm).
Birikmali yarim o‘tkazgichlar o‘stirish usullaridan biri bo‘lib hisoblanadi. AV
birikmali yarim o‘tkazgichli materialni o‘stirish
uchun uch zonali pechdan
foydalaniladi. Kvarsdan yasalgan (oldindan havosi so‘rilgan) ampulaga
uchmaydigan A komponent va tozalangan uchadigan V komponenta kiritilgan.
Havosi surilgandan so‘ng, ampula berkitilib uch zonali pechga kiritiladi.
Pechning harorati T
1
dan eritmada V komponentaning ma’lum bug‘
bosimini
hosil qilishi uchun T
2
gacha ko‘tariladi. Uchinchi pechning harorati T
3
bo‘lib, u
ikkinchi pech bilan T
2
-T
3
gradient hosil qiladi. Konteynerni ma’lum tezlikda
mexanik
siljitish natijasida T
2
-T
3
gradient ta’sirida yo‘naltirilgan kristallanish
jarayoni hosil qilinadi.
2) Gradientli zonali o‘stirish usuli. Bu usul asosan avval sintez qilingan
polikristall quymalarni monokristallga aylantirish
hamda epitaksial qatlamlar
olish uchun ishlatiladi. O‘stirish qurilmasi konstruktiv birlashtirilgan ikki
qismdan iborat bo‘ladi. O‘stirish uchun taglik vazifasini bajaradigan yarim
o‘tkazgich joylashgan zonada bir jinsli harorat
olish vazifasini bajaruvchi
birinchi pech va yuqorida joylashgan ikkinchi pech vazifasini bajaruvchi isitish
lampasi (nur qaytargichi bilan birga)dan iborat (16-Rasm). Ikkinchi pechni
yo=ish natijasida yarim o‘tkazgichli taglik ustida yuqoriroq harorat hosil
bo‘ladi, ya’ni
avvaliga T
1
bo‘lgan bo‘lsa, taglik yuzasida T
2
hosil qilinadi va
ayirma T
2
-T
1
ga teng bo‘ladi va birinchi usulga oid jarayonlar hosil bo‘ladi.
Noizotermik epitaksiya usuli. Usulning asosiy g‘oyasi ma’lum bir haroratda
yarim o‘tkazgichning ma’lum erituvchi yordamida eritmasi
tayyorlanib olinadi
va u tuyintirish holiga olib kelinadi. So‘ngra o‘stirish uchun olingan taglik
bilan eritma kontaktga keltiriladi va asta-sekinlik bilan ma’lum tezlikda
sovitiladi (17-Rasm)
