Tayyorlash va ularning malakasini oshirishni tashkil etish bosh ilmiy metodik markazi toshkent davlat texnika universiteti huzuridagi

Download 1,73 Mb. Pdf ko'rish
bet	27/50
Sana	07.09.2024
Hajmi	1,73 Mb.
	#270563

1 ... 23 24 25 26 27 28 29 30 ... 50

Bog'liq
majmua 2

3.2.

Diffuzion atlamlar xususiyatlarini o‘rganish
Hosil qilingan diffuzion qatlamlarni yarim o‘tkazgichli tuzilmalarda tatbiq
qilish uchun ularning xususiyatlarini tahlil qilish asosiy shartlardandir. Bu
xususiyatlar jumlasiga diffuzion qatlamning qalinligi, kirishmalar konsentratsiyasi,
kirishmalarning qatlamdagi taqsimoti, qatlamning elektr tokiga qarshiligi, undagi
asosiy bo‘lmagan zaryad tashuvchilarning yashash vaqti va harakatchanligi, va
hokazolar. Diffuzion qatlamlar qalinligini o‘lchash usullari jumlasiga qatlamni
buzmasdan (ne razruhayuhie metodo‘) va qatlamni emirib (razruhayuhie) o‘lchash
usullari kiradi. Qatlamni emirishga asoslangan usullar qatoriga shar-shlif va qiya-
shlif usullari kiradi.
SHar-shlif usuli diffuziya jarayonidan keyin material sirtida mexanik usul bilan
shar shaklidagi zoldir yordamida chuqurcha hosil qilib, so‘ngra uni rang beruvchi
ximik aralashmalarda emirib r-p o‘tish chegarasini aniqlashdan iborat. Aniqlangan
chegara optik mikroskopda qalinligi (chuqurligi) o‘lchanadi va uning qiymati
diffuzion qatlam qalinligiga teng deb olinadi.
Qiya-shlif usuli avvalgi usulni bir ko‘rinishi bo‘lib r-p o‘tish chegarasigacha qiya
tekislik hosil qilinadi. Bu usullarning aniqligi
zoldirning diametriga va qiya tekislikning qiyaligiga bog‘liqdir. +atlamni
buzmasdan qalinlikni o‘lchash usullariga volt-sig‘im xarakteristikani o‘lchash yo‘li
bilan qalinlikni aniqlash va har xil elektron zond usullari kiradi.

Kirishmalar
konsentratsiyasini
o‘lchash
usullari.
Kirishmalar
konsentratsiyasini o‘lchash usullari ko‘p bo‘lib bulardan klassik sifatida
foydalanidigan usullardan bu Xoll usuli, Van der Pau usuli va volt-sig‘im usulidir.
Bu usullar yarim o‘tkazgichli materialdan elektr toki va magnit maydonining
zaryadga bo‘layotgan ta’sir natijasida hosil bo‘lgan elektr toki o‘tkazuvchanligiga
asoslangandir.

Download 1,73 Mb.

1 ... 23 24 25 26 27 28 29 30 ... 50

Download 1,73 Mb.

Pdf ko'rish