Tayyorlash va ularning malakasini oshirishni tashkil etish bosh ilmiy metodik markazi toshkent davlat texnika universiteti huzuridagi

Download 1,73 Mb. Pdf ko'rish
bet	35/50
Sana	07.09.2024
Hajmi	1,73 Mb.
	#270563

1 ... 31 32 33 34 35 36 37 38 ... 50

Bog'liq
majmua 2

4.3.

Akslanishni kamaytiruvchi qatlamlar olish usullari.
Bunday qatlamlar olish usullari xilma-xil bo‘lishiga qaramasdan asosan
quyida keltirilgan uch xil usul asosiy bo‘lib hisoblanadi. Bunga sabab ularning
imkonliligi va nisbatan qoniqarligidadir.
Vakuumda uchirish usuli bilan akslanishni kamaytiradigan qatlamlar olish.
Bu usul bilan deyarli turli xil qatlamlar olish mumkin. Buni biz kremniy
monooksidi olish misolida ko‘rib o‘tamiz. Umuman kremniy oksidlari (SiO va
SiO
2
lar) mikroelektronikada qo‘llaniladigan asosiy materiallardan hisoblanadi va
ularni olish
Rasm
texnologiyasi ko‘pchilikka ma’lum. Fotoelektrik tizimlarda ular
optik parametrlarining to‘g‘ri kelishi nuqtai nazaridan ishlatiladi. Kremniyli QE
lari ishlaydigan optik diapazon Er sharoiti uchun bu 0,4-1,1 mkm dir. SHuning
uchun antirefleksion qatlam shu diapazonda tushayotgan nurni maksimal o‘tkazish
xususiyatiga ega bo‘lishi kerak. Kremniy oksidi aralashmasi SiO
x
ning sindirish
ko‘rsatkichi 1,6-1,8 ga tengdir. Optika qonunlariga asosan uning qoplamadagi
qalinligi 950-1100
o
A bo‘lishi kerak. Bu monooksidni vakuumda uchirish usuli
bilan olish uchun uning maydalangan (0,5-1mm) fraksiyasi olinadi. Akslantirishni
kamaytiruvchi qatlam qalinligini nazorat qilish uchun asosiy namunalar bilan
birga «yo‘ldosh» namuna ham olinadi va nazorat ishlari «yo‘ldosh» namunada olib
boriladi. «Yo‘ldosh» namuna sifatida shaffof materiallar, masalan shisha olinadi.
Akslanishni kamaytiruvchi qatlam qalinligi interferensiya hodisasiga asoslanib,
interferometri bor bo‘lgan mikroskoplar yordamida aniqlanadi. Bundan tashqari
ma’lumotnomalardan olingan jadvallar yordamida olingan oksidning rangiga qarab
qalinlikni ma’lum aniqlikda topish mumkin. 25-Rasmda har xil materialdan
tayyorlangan akslanishni kamaytiruvchi optik

Rasm. 4.
Har xil birikmalar asosidagi qatlamlar olingan kremniydan tayyorlangan
quyosh elementlari qaytarish koeffitsientining spektral o‘zgarishi. 1- qatlamsiz; 2
– SiO ( d = 0,15 mkm); 3 – ZnS ( d = 0,15 mkm) + kremniy organik lak (ℓ = 50
mkm); 4 - ZnS ( d = 0,15 mkm) + kremniy organikli kauchuk + shisha plastina (ℓ
= 0,5 mm); 5 – ideal sovutilgan hol.qoplamalarning akslanish koeffitsientining
tushayotgan yorug‘lik to‘lqin uzunligiga qarab o‘zgarishi keltirilgan.

Download 1,73 Mb.

1 ... 31 32 33 34 35 36 37 38 ... 50

Download 1,73 Mb.

Pdf ko'rish