Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi

1
O’ZBEKISTON RESPUBLIKASI

OLIY VA O’RTA MAXSUS TA’LIM VAZIRLIGI
МIRZO ULUG’BEK NOMIDAGI
O’ZBEKISTON МILLIY UNIVERSITETI
“YARIMO’TKAZGICHLAR VA POLIMERLAR FIZIKASI”
КАFEDRASI
5140200 – Fizika ta’lim yo’nalishi


Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi 

“YARIMO’TKAZGICH ASBOBLAR TEXNOLOGIYASIDA 

EPITAKSIYADAN FOYDALANISH ASOSLARINI 
O’RGANISH” 
mavzusidagi 


BITIRUV MALAKAVIY ISHI
Bitiruvchi: Soliyeva M.I 

Ilmiy rahbar: dots. Nazirov D.E

ТOSHKENT – 2017 yil 

2
Mundarija 

Kirish …………………………………………………………….. 
3
1-BOB. EPITAKSIYA TUSHUNCHASI VA UNING TURLARI. 
EPITAKSIYADAN FOYDALANISH ASOSLARI 
9
1.1
Epitaksiya. Epitaksiya turlari: geteroepitaksiya, reoepitaksiya,
molekulyar – nur epitaksiya …………..……………………………..
9
1.2
Epitaksial geterostruktalarning xossalari va qo‘llanilishi ……………
13
1.3
Epitaksial o‘sishning prinsip va metodlari …………..………………
15
2-BOB. YARIMO’TKAZGICH ASBOBLAR 
TEXNOLOGIYASIDA EPITAKSIYADAN FOYDALANISH 
ASOSLARINI O’RGANISH
16
2.1
Epitaksial o‘tqazishning asosiy usullari, kremniy va germaniy
epitaksiyasi ……………………………………………………………
16
2.2
Epitaksial qatlamlarni olish qurilmalari …………………………..…
22
2.3
Epitaksial tuzilmalarni legirlash,
A
III
B
V
turdagi yarimo‘tkazgich
birikmalar epitaksiyasining texnologik xususiyatlari ………………..
27
3-BOB. ZAMONAVIY EPITAKSIAL