23
2.2 - rasm. Gorizontal reaktorlar turlari:
1-kvars reaktor; 2-gaz oqimi; 3-taglik ushlagich; 4-plastinkalar.
2.3-rasm. Vertikal reaktorning tuzilishi:
a) kvars nayli reaktor; b) zanglamas po’lat qalpoqli reaktor;
24
Xlorid usulida epitaksial qatlamlarni olish qurilmasi 2.4-rasmda berilgan.
Legirlangan epitaksial qatlamni olish uchun tetraxlorid kremniy yoki legirlovchi
qo’shimchalar p-turni
𝐵𝐵𝑟
3
yoki
n-turni
𝑃𝐶𝑙
3
hosil qiluvchi legirlovchi
qo’shimcha tarkibli aralashmalar
𝑆𝑖𝐶𝑙
4
+ 𝐵𝐵𝑟
3
yoki
𝑆𝑖𝐶𝑙
4
+ 𝑃𝐶𝑙
3
termostat
idishda tetraxlorid temperaturasi yuqori aniqlikda ushlab turiladi. Bu esa, zaruriy
bug’ bosimini ta’minlaydi. Odatda bu temperatura 0°C
dan past, chunki
𝑆𝑖𝐶𝑙
4
juda uchuvchi suyuqlik.
Sistemaga palladiy tozalovidan o’tgan vodorod beriladi. Chunki palladiy
tozalov nam va kislorod qoldiqlaridan vodorodni tozalaydi.
Palladiy yoki
platinali tozalov sistemasi 400–450°C qizdirilgan diafragmadan iborat. Bu
diafragma orqali yuqori tezlikda atomar vodorod diffuziyalanadi va uning sarfi
1 m
3
/soat ni tashkil qilib boshqa moddalar bu diafragma orqali umuman
o’tmaydi, chunki ularning diffuziya koeffitsienti kichik.
Tozalov nuqtasi
shudringdan so’ng - 70°C ni tashkil qiladi. Vodorod 1-kran - vodorod sarfini
o’lchovchi rotametr orqali o’tadi. 2-, 3-, 4- kranlar yopiq. Kremniy tagliklar
1000–1200°C gacha qizdiriladi va ularning sirti vodorod oqimida tozalanadi. 1-
kran yopiladi, 2- va 3- kranlar ochiladi. Vodorod
𝑆𝑖𝐶𝑙
4
li idish orqali o’tadi va
reaktorga tetraxlorid bug’i bilan to’yinib elementar kremniy tiklanadi.
Reaksiyada
qatnashmagan
𝑆𝑖𝐶𝑙
4
,
𝐻
2
, HCl va boshqa mahsulotlar 5-ochiq
kran orqali skrubberga chiqadi. Skrubber vazifasi zaharli chiqindilarni ushlab
qoladi, vodorod alangasida yondirib yuboradi. Epitaksial o’stirishda gaz yedirish
uchun 1-kran orqali MCl epitaksiya jarayonidan oldin beriladi.
