43
5.
Nazorat – analitik asboblar;
6.
Texnologik jarayonni boshqarish sistemasi.
Quyida har bir element qurilmasi va vazifasi to’liq ko’rib chiqiladi:
A. Texnologik o’stiruvchi modul:
O’stiruvchi modul texnologik kompleksning asosiy elementidir. Unda
to’liq tarzda epitaksial strukturalar o’stirish jarayoni amalga oshiriladi.
O’stiruvchi modulning asosiy tugunlari:
- Vakuum kamerasi;
- Taglikni mustahkamlash tuguni;
- Molekulyar manbalar tuguni;
- So’rish sistemasi;
- Kriopanellar;
- Transport sistemasi;
44
- Nazorat – analitik aparatura.
Vakuum kamera – ikkita asosiy vazifani bajaradi: u o’suvchi bo’shliqni
atmosfera havosidan germetik izolyatsiyalaydi va shu bilan bir vaqtda o’suvchi
modulning barcha qolgan elementlarini mahkamlash uchun olib yuruvchi
kamera hisoblanadi. Vakuum kamera zanglamaydigan po’latdan tayyorlanadi va
silindrik yoki sharsimon shaklga ega. Zamonaviy texnologik komplekslarda
vakuum kamera yetarlicha katta o’lchamga ega: uning hajmi 0.5 m
3
gacha
yetishi mumkin.
Taglikni mahkamlash tuguni (manipulyator) – o’suvchi modulning
murakkab tugunlaridan iboratdir. Taglikni mahkamlash va pretszion siljitishdan
tashqari bu tugun taglikni ishchi temperaturagacha qizdirish ishini amalga
oshiradi. Taglik juda nozik kristallar plastinkasidan iboratligidan u molibdendan
yasalgan metal disk tashuvchiga oldindan mahkamlab qo’yiladi, u bilan birga
ko’chiriladi
va
manipulyatorga
mahkamlanadi.
Taglikni
tashuvchiga
mahkamlash yoki indiy bilan kavsharlash yo’li bilan yoki maxsus simli tutish
bilan amalga oshiriladi. Taglikni qizdirish uchun manipulyatorga elektr pech
ulangan b`lib, u yupqa metal spiraldan iborat (meandr) bo’lib, bor nitrididdan
yasalgan keramik plastinkaga mahkamlangan. Bu material yuqori issiqlikka
chidamliligi va yaxshi vakuum xususiyati bilan farq qilib, kuchli qizdirishda
ham bu xususiyatlarni saqlaydi. Qizdirish temperaturasi termojuftlik bilan
nazorat qilinadi.
