46
qo’shimcha vakuum modellar ham ko’rib chiqiladi. Bunday modellar Oje-
spektroskopiya usullari bilan o’stirilgan strukturalar
tarkibini analiz qilish
imkonini beradi.
C. Texnologik kompleksni haydash sistemasi:
O’stiruvchi modul haydash sistemasi bilan bir qatorda texnologik
kompleksning qolgan vakuum qismlarining rivojlangan haydash sistemasi (ko’p
komponentali) mavjuddir. Unga forvakuumli
va adsorbsion nasoslar, ular
boshqa barcha vakuumli modellar bilan truba orqali bog`langan,
magnitorazryad nasoslar, ular har qaysi vakuumli modelda bo’ladi va
magnitorazryad nasoslarning elektr ta`minoti bloklari kiradi. Haydash sistemasi
izolyatsiya qilish imkonini beruvchi vakuumli ventillarning katta
miqdori bilan
ta`minlangan, kerak bo’lganida sistema elementining ixtiyoriysini ishlatish
mumkin.
D. Kriosistema:
Kriosistema o’suvchi modullar ishi jarayonida
ajrab chiquvchi ortiqcha
bosimni epitaksial komplekslarning ayrim variantlarida sovutish uchun
qo’shimcha tarzda suvli sovutishdan foydalaniladi. Kriosistema elementlari –
o’suvchi moduldagi kriopanellarga uzluksiz uzatishni
amalga oshiruvchi tashqi
qurilmalardir. Bunday qurilmalar konstruksiyasi turli texnologik komplekslarda
ancha farq qiladilar.
