47
va taglik temperaturasi va manbada tiqinni ochish va yopish vaqti kiradi.
Sistema ishining asosiy tartibi – avtomatik bo’lib, unda o’sishning butun
texnologik
jarayoni
shaxsiy
kompyuter
bilan
dasturiy
boshqariladi.
Tayyorlangan o’sish oldi ishlari uchun mos parametrlarni qo’l bilan va yarim
avtomatik tarzda boshqarish ko’zda tutilgan. Shaxsiy kompyuter bilan birga
boshqaruv sistemasiga periferiy mikroprotsessor qurilma, qizdirgichning
iste`mol bloki, tiqinlar kiradi.
MDE ning texnologik jarayoni:
Molekulyar dastali epitaksiya jarayoni asosiy o’stiruvchi muolaja bilan
birga qator tayyorlangan muolajalarni o’z ichiga olib, ularsiz yuqori sifatli
epitaksial strukturalar olish mumkin bo’lmaydi. Bu muolajalarga eng avvalo
tagliklarni o’stirishdan oldingi tayyorlash va o’stiruvchi modulni tayyorlashlar
kiradi. Quyida bu muolajalar xususiyatlari qisqa ko’rib chiqiladi:
A. Tagliklar yasash va tayyorlash:
Taglik katta monokristaldan kesib olingan GaAS plastinkasidan iboratdir.
Plastinkalarning standart qalinligi 0.4-0.6 mm, diametri 25-60 mmdir.
Plastinkalar, qoidaga ko’ra kristolografik tekislikka parallel qilib kesib olinadi,
biroq ayrim hollarda bu tekislikdan 1-3
0
ga og`ishga yo’l qo’yiladi.
Plastinkaning o’stiruvchi sirti tekislanib, yuqori optik sifatga ega bo’lguniga
qadar sayqallanadi (ya`ni, yaxshi ko’zgu sirtni namoyon etadi), shundan keyin
kimyoviy ishlov beriladi. Ishlov berishdan ikki maqsad ko’zlanadi: ifloslanishni
yo’qotish va sirt sifatini yaxshilash. Ishlov berish ikki bosqichdan iborat:
1.
Moylardan xalos qilish (organik ifloslanishni yo’qotish);
2.
Nooraganik ifloslanishni yo’qotish va taglik sirtini tekislovchi
yedirish;
Moylardan xalos qilish organik erituvchilar: atseton, toluol, propil spirtida
qaynatish bilan amalga oshiriladi.
Yediruvchi tarkibi: xH
2
SO
4
+H
2
O
2
+H
2
O. X kattalik: 4olinadi. Ishlov berishning har bir bosqichidan keyin taglik bidistillirlangan suv
oqimida yuviladi. Yedirishdan keying oxirgi yuvish taglik sirtida himoya
48
vazifasini bajaruvchi oksid plenka hosil bo’lishi bilan kuzatiladi. Shundan keyin
atseton bug`ida yoki tsentrifugada quritiladi. Toza taglik tashuvchida qotiriladi
va o’suvchi qurilmaga yuklanadi.
