45
So’rish sistemasi o’sish kamerasida ishchi vakuumga erishishni
ta`minlaydi. Katta hajmda o’ta yuqori vakuum hosil qilish uchun so’rishning 3
bosqichidan foydalanishga to’g`ri keladi. Birinchi bosqichda atmosfera bosimini
so’rib olishda mexanik forvakuum nasosdan foydalanishga to’g`ri keladi.
Atmosfera havosining asosiy massasi yo’q qilingach, forvakuum so’rish
to’xtatiladi va seolit yoki faollashgan ko’mir bilan to’ldirilgan
kriogen
absorbsion
nasoslar
yoqiladi.
So’rishning
oxirgi
bosqichida
titanli
magnitorazryad nasos ulanib, u o’ta yuqori vakuumni hosil qiluvchi va ushlab
turuvchi asosiy nasos hisoblanadi. O’sish jarayonining ayrim bosqichlarida
yuzaga keluvchi ortiqcha gaz ajralishini kompensatsiya qilish uchun bir muncha
vaqt so’rish tezligini keskin oshirib beruvchi titanli getter nasosni qo’llash
mumkin.
Kriopanellar – suyuq azot bilan to’ldirilgan sig`imdan iborat, o’suvchi
modulning eng ko’p qizdirilgan elementlarini
manipulyator va molekulyar
manbalarni o’rab olgandir. Bundan tashqari ayrim kriopanel getter nasosni
sovutadi, bu bilan uning adsorbsion xususiyatlarini oshiradi. Transport sistemasi
– vakuum qurilmalarda yukli kameradan tashuvchili taglikni o’suvchi modulga
masofadan siljitishni amalga oshirish va
tashuvchini manipulyatorga
mahkamlsh, hamda o’stiruvchi moduldan o’stirilgan strukturalarni yo’qotish
uchun kerak.
