41
o’suvchi materiallarning ifloslanishi ortadi. Bunday kontaktni kamaytirish uchun
reaktor gohida bufer gaz-vodorod yoki azot bilan to’ldiriladi.
Gaz fazali epitaksiya (GFE) ning afzalliklari:
1. Molekulyar dastali epitaksiya (MDE) ga nisbatan soddaligi va o’sish
jarayonining mustahkamligi;
2. O’sish tezligi deyarli 10 marta katta (10mkm/soat atrofida);
3. O’suvchi materiallarning ancha arzonligi.
Gaz fazali epitaksiya (GFE) ning kamchiliklari:
1. Texnologik jarayonning yuqori toza bo’lishiga erishib bo’lmaslik;
2. O’sish jarayonini to’g’ridan-to’g’ri kuzatib bo’lmaslik;
3. Qo’llanilayotgan materiallarning yuqori zaharli ekanligiga bog’liq
texnik qiyinchiliklar;
