Rasm. 2  Kremniy quyosh elementining frontal kontakt ko‘rinishiga oid misol. 1-




Download 1,73 Mb.
Pdf ko'rish
bet48/50
Sana07.09.2024
Hajmi1,73 Mb.
#270563
1   ...   42   43   44   45   46   47   48   49   50
Bog'liq
majmua 2

Rasm. 2 
Kremniy quyosh elementining frontal kontakt ko‘rinishiga oid misol. 1- 
yuzadagi to‘rsimon kontakt (ko‘p qatlamli + pripoy), 2 – shaffoflantiruvchi 
qatlam,
3 – legirlangan p-tipdagi yupqa qatlam (0,2 mkm), 4 – 0,5 mkm qalinlikdagi 
xajmiy zaryad qatlami, 5 – 200 mkm qalinlikdagi baza qatlami, 6 – 0,5 mkm 
qalinlikdagi r+ - qatlam, 7 – orqa tomondagi kontakt qatlami, 8 – tok jamlovchi 
shina, 9 – to‘rsimon tok jamlovchi shina.
 
Rasm 
3 Tipik kremniy asosidagi quyosh elementiga oid energetik zonali 
diagramma; p-qatlam o‘lchami kattalashtirilgan. 1 – orqa tomonga yaqin 
qismdagi elektr maydoni.
Izlanishlar natijasi shuni ko‘rsatadiki, odatda yuzada mikroskopik kattalikdagi 
teshilgan uchastkalar hosil bo‘lishi mumkin (yupqa diffuzion qatlamlar olinganda) 
va bunday hollarda Rsh qarshiligi kamayishi va Io ning qiymati ortishi mumkin. 
Buning oldini olish maqsadida kontakt olinadigan yuzaga metall maskalar yoki 
polimer materialdan qilingan va kontakt rasmi tushirilgan fotorezist maskalar 
yordamida yoki akslanishni kamaytiruvchi qatlamlar ustiga kontakt olinadi. 
Kontaktning geometrik shakli (topologiyasi) kontakt olinadigan yuza kattaligiga, 
diffuzion qatlamning qalinligiga va QE larining qaysi sharoitda ishlashiga qarab 
tanlab olinadi. Odatda yuzaga tushayotgan nurni yo‘lini to‘smaslik uchun yuzani 
to‘sish koeffitsientining kattaligi 10 % dan oshirmaslikka harakat qilinishi kerak. 
Konsentrlashtirilgan (zichlashtirilgan) quyosh nurlari bilan ishlaydigan QE larda 
esa yuzani to‘sish koeffitsienti quyosh nurini zichlashtirish koeffitsientiga bog‘lik 
bo‘lib, ayrim hollarda u 50 % oshiqroq bo‘lishi ham mumkin. 


Quyosh elementari samaradorligini oshirishning yana bir yo‘li elementning 
yuza qismidan bo‘ladigan nur qaytarilish hodisasini kamaytirishdir. Misol uchun 
sayqallangan kremniy plastinasi 
yuzasidan (0,35-1,1mkm diapazondagi) 
tushayotgan nurning akslanish koeffitsienti 0,45 dan oshishi mumkin. Bu hodisa 
asosan Si va atmosfera orasida nur sindirish koeffitsientining nomuvofiqligidir, 
ya’ni kremniy uchun n = 3,6 bo‘lgani holda, havo uchun bu ko‘rsutkich birga teng. 
Bunday sharoitda tushayotgan nurning qaytishini kamaytirish uchun, yarim 
o‘tkazgichli material ustini sindirish ko‘rsatkichini muvofiqlashtiruvchi, har xil 
oksid materiallar, bilan qoplash kerak bo‘ladi. Bunday materiallardan QE 
texnologiyasida ishlatiladiganlari birmuncha bo‘lib, ularga quyidagilar misol bo‘la 
oladi, SiO, SiO
2
, SnO
2
, TiO
2
,Ta
2
O
5
, ZnS va hokazolar. Odatda qoplanayotgan 
materiallar sindirish ko‘rsatkichi quyidagini tengsizlikni qanoatlantirishi kerak, 
ya’ni n
1
2
bo‘lishi kerak. YUzaga olinayotgan akslanishni kamaytiruvchi 
qatlam bir yoki ikki qavatli har xil materialdan iborat bo‘lishi mumkin. U holda 
n
1
1k
2k
2
bo‘lishi kerak. 
Kremniy asosidagi QE larini bir qatlamli effektiv akslanishni kamaytiruvchi 
material bo‘lib, Ta
2
O
5
hisoblaniladi va uning yordamida akslanishni 10 % dan 
kamroq qilish mumkin, ikki qatlamli qoplamalar bilan esa akslanishni 2 % 
kamaytirish hakida ma’lumotlar mavjud
Kremniy asosidagi fotoqabullagichlar sirtiga yupqa akslanishni kamaytiruvchi 
qatlamning qalinligi λ/4 ga teng bo‘lishi kerak. So‘nggi vaqtlarda kremniy 
tuzilmalarida SiO
2
o‘rniga nitrid kremniyli Si
3
N
4
olinayapti va uning sindirish 
ko‘rsatkichi 2 ±0,1 ga teng. Bu qoplama yuzadan akslanishni kamaytiribgina 
qolmasdan shu bilan birga yuzani passivatsiya ham qiladi va uning ishonchliligini 
oshiradi. Odatda, sirtiga nitrid kremniy o‘tqazilgan fotoqabullagichlarda ularni 
korpusga o‘rnatishga hojat qolmaydi. Akslanishni kamaytirish usullaridan yana biri 
bu yuza sirtini teksturalashdir. Bu usulning mohiyati shundan iboratki, yuza sirtida 
akslanishni kamaytiruvchi relef hosil qilinadi, ya’ni sirt ma’lum kristallografik 
yo‘nalishda emirish xususiyati bo‘lgan eritmalar yordamida ishlov beriladi. 


Bunday qatlamlar olish usullari xilma-xil bo‘lishiga qaramasdan asosan 
quyida keltirilgan uch xil usul asosiy bo‘lib hisoblanadi. Bunga sabab ularning 
imkonliligi va nisbatan qoniqarligidadir.
Vakuumda uchirish usuli bilan akslanishni kamaytiradigan qatlamlar olish. 
Bu usul bilan deyarli turli xil qatlamlar olish mumkin. Buni biz kremniy 
monooksidi olish misolida ko‘rib o‘tamiz. Umuman kremniy oksidlari (SiO va 
SiO
2
lar) mikroelektronikada qo‘llaniladigan asosiy materiallardan hisoblanadi va 
ularni olish Rasm texnologiyasi ko‘pchilikka ma’lum. Fotoelektrik tizimlarda ular 
optik parametrlarining to‘g‘ri kelishi nuqtai nazaridan ishlatiladi. Kremniyli QE 
lari ishlaydigan optik diapazon Er sharoiti uchun bu 0,4-1,1 mkm dir. SHuning 
uchun antirefleksion qatlam shu diapazonda tushayotgan nurni maksimal o‘tkazish 
xususiyatiga ega bo‘lishi kerak. Kremniy oksidi aralashmasi SiO
x
ning sindirish 
ko‘rsatkichi 1,6-1,8 ga tengdir. Optika qonunlariga asosan uning qoplamadagi 
qalinligi 950-1100 
o
A bo‘lishi kerak. Bu monooksidni vakuumda uchirish usuli 
bilan olish uchun uning maydalangan (0,5-1mm) fraksiyasi olinadi. Akslantirishni 
kamaytiruvchi qatlam qalinligini nazorat qilish uchun asosiy namunalar bilan birga 
«yo‘ldosh» namuna ham olinadi va nazorat ishlari «yo‘ldosh» namunada olib 
boriladi. «Yo‘ldosh» namuna sifatida shaffof materiallar, masalan shisha olinadi. 
Akslanishni kamaytiruvchi qatlam qalinligi interferensiya hodisasiga asoslanib
interferometri bor bo‘lgan mikroskoplar yordamida aniqlanadi. Bundan tashqari 
ma’lumotnomalardan olingan jadvallar yordamida olingan oksidning rangiga qarab 
qalinlikni ma’lum aniqlikda topish mumkin. 4-Rasmda har xil materialdan 
tayyorlangan 
akslanishni 
kamaytiruvchi 
optik 
qoplamalarning 
akslanish 
koeffitsientining tushayotgan yorug‘lik to‘lqin uzunligiga qarab o‘zgarishi 
keltirilgan. 



Download 1,73 Mb.
1   ...   42   43   44   45   46   47   48   49   50




Download 1,73 Mb.
Pdf ko'rish

Bosh sahifa
Aloqalar

    Bosh sahifa



Rasm. 2  Kremniy quyosh elementining frontal kontakt ko‘rinishiga oid misol. 1-

Download 1,73 Mb.
Pdf ko'rish