Educational Research in Universal Sciences issn: 181-3515 volume

Educational Research in Universal Sciences
ISSN: 2181-3515 VOLUME 2 | SPECIAL ISSUE 12 | 2023
 
 
https://t.me/Erus_uz Multidisciplinary Scientific Journal October, 2023 
1
 

Educational Research in Universal Sciences
ISSN: 2181-3515 VOLUME 2 | SPECIAL ISSUE 12 | 2023
 
 
https://t.me/Erus_uz Multidisciplinary Scientific Journal October, 2023 
2
 
ISSN 2181-3515 
VOLUME 2,
SPECIAL ISSUE 12 
OCTOBER 2023 
https://erus.uz/

Educational Research in Universal Sciences
ISSN: 2181-3515 VOLUME 2 | SPECIAL ISSUE 12 | 2023
 
 
https://t.me/Erus_uz Multidisciplinary Scientific Journal October, 2023 
116
 
УДК 533.537 
EFFECT OF ION IMPLANTATION ON THE COMPOSITION, STRUCTURE 
AND OPTICAL PROPERTIES OF SILICON 
 
Mustafoeva Nodira Moyliyevna 
Karshi Institute of Irrigation and Agricultural Technologies 
 
Mustafaeva Nilufar Moyli Qizi 
Karshi Institute of Engineering- Economics 
 
ABSTRACT 
In this work, comparative studies of the effect of bombardment with Ar+ and Ni+ 
ions on the composition, structure, and light transmission coefficient of single-crystal 
Si are carried out. In both cases, implantation leads to disordering of the surface layers 
and a decrease in K. After heating at T = 900 K of Si implanted with Ni+ ions, epitaxial 
phases are formed in the surface region of Si, depending on the dose of ions (at D < 
510
15
см
-2
) and films (at D = 610
16
см
-2
) NiSi
2
.