Yarimo‘tkazgich IMSlar yaratishda texnologik jarayon va operatsiyalar
Yarimo‘tkazgich IMSlar tayyorlash uchun asosiy material bo‘lgan
- kremniy
monokristal quymalari olishdan boshlanadi
(Choxralskiy usuli). Hosil bo‘lgan
kremniy quymasi n– yoki r–turli elektr o‘tkazuvchanlikka ega bo‘ladi.
Quyma
uzunligi 150 sm, diametri esa 150 mm va undan katta bo‘lishi mumkin. Zonali eritish
usulida monokristal ifloslantiruvchi kiritmalardan qo‘shimcha tozalanadi.
Epitaksiya. Epitaksiya jarayoni asos sirtida uning kristall tuzilishini
takrorlovchi yupqa monokristal ishchi qatlamlar hosil qilish uchun ishlatiladi.
Gaz fazali va suyuq fazali epitaksiya usullari keng tarqalgan bo‘lib, ular
monokristal asos sirtida n– yoki r–turli o‘tkazuvchanlikka ega bo‘lgan
epitaksial
qatlamlar hosil qilish imkonini beradi.
Termik oksidlash. Termik oksidlash – kremniy sirtida oksid (SiO2) qatlam
(parda) hosil qilish maqsadida sun’iy yo‘l bilan oksidlashdan iborat jarayon. U
yuqori (1000÷1200) 0S temperaturalarda kechadi.
2.1.-rasm. IMS tuzilmasi
