|
Vazirligi buxoro davlat universiteti d. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A
|
| bet | 98/119 | | Sana | 14.06.2024 | | Hajmi | 4,04 Mb. | | #263652 | | Turi | Учебник |
Bog'liq 21558 2 CDEAD1DE360DB13C9B7A03EFD7ECBD40E7F94F1FKirishmalarni getterlash. Getterlash deb asboblarning faol sohalaridan tez diffuziyalanadigan metall kirishmalar (oltin, kumush, mis va boshqalar) ni ketkazish jarayoniga aytiladi, chunki bu kirishmalar asboblar sifatini pasaytiradi.
Odatda, getterlash sohalarini plastinaning notekis tomonida hosil qilinadi, bunda muayyan nuqsonlar kiritilib, ular yuqorida aytilgan keraksiz kirishmalarni o’ziga biriktirib oladi. Lazer ishlovi oqibatida hosil bo’lgan nuqsonlar oson nazorat qilinadi, ifloslik kiritmaydi va barqaror bo’ladi. Ular kirishmalarni teхnologik jarayonlar o’tkazilganda ham ushlab tura oladi.
Getterlash samaradorligini noasosiy zaryad tashuvchilar yashash vaqti bo’yicha baholanadi. Metall kirishmalar qancha kam bo’lsa, yashash vaqti shuncha katta bo’ladi.
Polikristall kremniy qarshiligining o’zgarishi. Yarimo’tkazgichli asboblar va integral mikrosхemalarda metall o’tkazgichlar o’rniga ko’pincha legirlangan polikristallik kremniy (PK) pardalardan foydalaniladi. PK pardasi donasi o’lchami
qancha katta bo’lsa, o’tkazgichning qarshiligi shuncha kichik bo’ladi. Lazer bilan
kuydirish donalar o’lchamini kattalashtiradi, binobarin, piroliz yordamida (620 0C va past bosimda) o’stirilgan PK pardalari qarshiligini kamaytiradi. Lazer tizimi 30 ns davomiylikni va energiya zichligi 2-59 mVt/sm2 bo’lgan impulslar hosil qiladi. Rubin lazerdan foydalanilgan holda to’lqin uzunligi 0,6943 mkm yoki neodim lazer bo’lganda – 1,06 mkm bo’ladi, namunada yorug’lik dog’i 5 sm.
Legirlash dozasiga qarab PK parda qarshiligi turlicha bo’ladi, doza ortishi bilan kamayib boradi. Ammo quvvvat zichligi katta bo’lganda PK pardalari qatlamlanib, ularning qarshiligi ortadi. Arseniy (As) bilan legirlangan PK pardalari o’lchami kuydirishgacha 30 nm, termik kuydirishda u 40 nm ga yetadi, lazer bilan kuydirishda 150 nm gacha yetadi. Mos ravishda, qarshiliklar nisbati 15000:890:360. Termik kuydirishdan so’ng faollashgan kirishma hissasi 39%, lazer bilan kuydirishdan so’ng 93%. Impuls rejimida plastina sirti bo’yicha siljiyotgan lazer nuri polikristallik kremniy qatlamini qayta kristallaydi. Bu qarshilikning yana ham kamayishiga olib keladi.
|
| |
