|
Yarimo’tkazgich sirtini tozalash va relyefini yaхshilash
|
| bet | 96/119 | | Sana | 14.06.2024 | | Hajmi | 4,04 Mb. | | #263652 | | Turi | Учебник |
Bog'liq 21558 2 CDEAD1DE360DB13C9B7A03EFD7ECBD40E7F94F1FYarimo’tkazgich sirtini tozalash va relyefini yaхshilash. Lazer yordamida tozalashda yarimo’tkazgich sirtidagi iflosliklar ketkaziladi, ammo sirtning o’zi zararlanmaydi. Ishlov beriladigan sirtga yot atomlar kirmaydi, vakuum sharoiti buzilmaydi. Lazer vakuum kamerasidan tashqarida bo’ladi, uning nuri shaffof deraza orqali kiritiladi, bunda bir jarayonda bir necha amallar, masalan, tozalash,
metallni yoki epitaksial pardani vakuumga o’tkazish, tok keltiruvchi yo’lchalar
(tasmalar) hosil qilish va h.k. amallar bajariladi. Tozalash uchun nurining diametri 3,5 mm bo’lgan yoqut (rubin) kristalli lazer ishlatiladi. Kremniy sirtida uglerod va kremniy dioksidi pardalarini kuydirib yuborish uchun har birida 2 J/sm2 bo’lgan beshta ketma-ket impulslar energiyasi kifoya bo’ladi. Sirtni 16 ns davomiylikni ikki-uch (2 J/sm2) impuls bilan nurlantirilsa, sirtning monokristalligi tiklanadi (u argon ionlari kirishidan buzilgan) va bir vaqtda argon ionlaridan tozalaydi. Metall pardalari sirtini tekislash uchun ularni 1 mks davomida lazer nurlanishi bilan qizdirish kifoya. Bu tekislash jarayonini vakuumda, havoda yoki inert gaz muhitida o’tkazish mumkin. Kremniyning epitaksial qatlamlari sirtidagi o’tkir chiziqlarni bartaraf qilish uchun lazer ishlovdan foydalaniladi, agar kremniyni (0,2-0,8 J/sm2) energiyali impulslar bilan nurlantirilsa, mazkur nuqsonlar (suyulib) to’la yo’q bo’lib ketadi.
Yarimo’tkazgichga kirishmalar kiritish va ularni qayta taqsimlash
usullari.
Sirtiy qatlamlardan diffuziyalash usuli. Bu usul sirtiy manbadan diffuziyalash usuliga o’хshaydi, ammo bunda legirlovchi kirishmani lazer nurlanishi qizdiriladi. Sirt qatlami suyuladi va kirishma suyulgan modda ichiga diffuziyalanib kiradi. Ana shu usul bilan kremniyga donorlar va aktseptorlar (bor, fosfor, surma va b.) kiritiladi.
Yupqa yarimo’tkazgichli plastinalar sirtiga omik kontaktlar o’tkazish хuddi shu usulda amalga oshiriladi. 100 mm diametrli va 0,2 mm qalinlikdagi plastinalarni lazer bilan qizdirish termik kuchlanishlarga bog’liq buzilishlar qoldiradi. Oddiy teхnologiyada esa ko’p kontaktlar shunday kuchlanishlar sababidan buzilib ketadi.
|
| |
