3.2.Oje-jarayon. Oje-elektron spektrometr qurilmasining asosiy qismlari OES keyingi paytlarda qattiq jism sirtlarining kimyoviy tarkibini tahlil
qilishda eng ko‘p tarqalgan usullardan biri bo‘lib qoldi. Bu usulning asosiy
afzalliklari quyidagilardan iborat: qalinligi 5(20 YE bo‘lgan yuza qatlamlarni katta
aniqlik bilan juda tez (bir necha minut) fursatda tahlil qila oladi. Mendeleyev
davriy jadvalidagi (N va Ne dan boshqa) hamma elementlar to‘g‘risida miqdoriy
ma’lumot bera olishi bilan birga, atomlar orasidagi kimyoviy bog‘lanishlarni ham
aniqlash imkonini beradi.
Hozirgi paytda OES faqatgina ilmiy izlanishlardagina emas, balki standart
tahlil usuli sifatida elektron asbobsozlikda keng qo‘llanilmoqda. U, ayniqsa, yarim
o‘tkazgichlar texnologiyasida, metallshunoslikda, katalizda, mineralogiyada va
foydali qazilmalarni tahlil qilishda, kristallarni o‘stirishda keng qo‘llanilmoqda.
OES bilan bir paytda yuzalarni ionlar yordamida yemirish usulini qo‘llab
jismlarning sirt osti qatlamlarini (hajmini) ham tahlil qilish mumkin.
OES usulining yaratilishi, prinsipi, turlari, imkoniyatlari va olingan natijalar
to‘g‘risida rus va ingliz tillarida juda ko‘p ilmiy monografiya va maqolalar e’lon
qilingan. Biz bu yerda asosan oje-jarayon, EOS usulining prinsiplari va qurilmalar
to‘g‘risida to‘xtalib o‘tamiz.
Oje - jarayon. Energiyasi yetarli darajada katta bo‘lgan birlamchi elektron
jism atomlarining ichki sathlarining bittasidan, masalan, K sathdan elektron urib
63
chiqarishi mumkin. Bu bo‘sh qolgan joy tezda (10
-12
– 10
-13
s ichida) yuqori
sathlardan biridagi (masalan, L
1
sathdagi) elektronning o‘tishi bilan to‘ladi. Bu
o‘tish natijasida Ek –EL energiya ajralib chiqadi. Bu energiya xarakterli rentgen
nurlanish holida ajralishi mumkin yoki boshqa (masalan, L2) sathdagi elektronga
berilishi mumkin. Agar aytilgan energiya elektronga berilib, uni vakumga chiqarsa,
ko‘rib o‘tilgan jarayon
