66
fokuslangan (mishendagi o‘lchami 100-150 mkm), intensivligi
kerakli darajada
(J
1
=103(105 mkA/sm2) katta bo‘lgan birlamchi elektronlar dastasini hosil qiladi.
Ko‘pincha bu elektronlarning energiyasi E1 ( 1-5 keV oralig‘ida bo‘ladi.
Analizator esa ikkilamchi elektronlarni energiya bo‘yicha taqsimlanishini tahlil
qilishga xizmat qiladi.
To‘xtatuvchi maydonli analizator sferik (yarim sferik) ko‘rinishdagi
to‘rlar
(2 tadan 4 tagacha) va
kollektordan
iborat bo‘ladi. To‘rtta to‘rga ega bo‘lgan
analizatorli spektrometrning chizmasi 3.6-rasmda keltirilgan.
Bu yerda T
1
to‘r
mishendan uchib chiqayotgan ikkilamchi elektronlarning maydonsiz fazoda
harakatlanishini ta’minlashga xizmat qiladi. Buning uchun nishon bilan to‘r T
1
taxminan bir bil potensialga ega bo‘lishi kerak (Ular orasidagi kontakt potensiallar
farqi U
nt
manba yordamida kompensatsiya qilinadi).
3.6-rasm. To‘xtatuvchi maydonli analizatorga ega bo‘lgan spektrometr:
EEO – elektron energıyalı oqimi, E – ekran, Kol. – kollektor, T
1
(T
4
– to‘rlar, N –
mishen, DK va RK – dastlabki va rezonans kuchaytirgich, SD – sinxron
detektor, CHI – chastotani ikkilantiruvchi, SKG – sinusoidal kuchlanishlar
generatori, AKM – arrasimon kuchlanish manbai, AA – avtomatik yozuvchi
asbob.
