71
yerda
ham
maxsus
usullar qo‘llamay turib yuzadagi atomlarning
konsentratsiyalarini va kimyoviy birikmaning tipini to‘g‘ri aniqlash mumkin emas.
dE
dN
Е
2
, эВ
3.9-rasm. Kremniyning oksidlanish jarayonida L
23
VV – Oje-cho‘qqining
o‘zgarishi.
Sifat
tahlili
elektron
texnikaning
hamma
sohalarida
(jumladan
mikroelektronikada) juda ko‘p qo‘llaniladi. Chunki ko‘p
hollarda jismda qanday
chet elementlar bor ekanligini, ular kimyoviy birikma hosil qiladimi- yo‘qmi
ekanligini taxminiy aniqlash yetarli bo‘ladi.
