Bosimni o‘lchash sig‘imli sensorlari

65 
3.19 – rasm. Bosimni o‘lchash sig‘imli sensori ( asosiy ko‘rinishi ) 
3.4.2.Pezorezistiv yarimo‘tkazgichli bosim sensorlari 
Yarimo‘tkazgichli bosim sensorlari ikki turda bo‘ladi: 
- sezgir rezistorlari diffuziya yo‘li bilan yaratilgan yoki implantatsiya qilingan 
kremniyli integral sensorlar; 
- biriktirilgan sensor – kremniyli sezgir element bosim ta’sir ko‘rsatadigan 
diafragmaning orqa tomoniga qotirilgan. 
Ikinchi turdagi bosim sensolari agressiv muhitda bosim o‘lchash uchun 
ishlatiladi, chunki uning sezgir yarimo‘tkazgichli elementi zanglamas po‘lat 
membranasining orqasiga joylashgan bo‘lib, agressiv muhit bilan kontakt 
qilmaydi. 
Pezorezistiv bosim sensorlarida bosim sensorning sezgir elementi bo‘lgan 
yarimo‘tkazgichli diafragmasiga ta’sir ko‘rsatadi ( 3.20 – rasm ). 
Pezorezistorli sensorlar ko‘prik o‘lchash sxemasiga ulanadi va shu yo‘l bilan 
xarakteristikasi chiziqli qilinadi. Ko‘prikdagi rezistorlar quyidagi prinsipda 
tanlanadi: ko‘prikning yonma- yon yelkalaridagi rezistorlarning qarshiligi bosim 
ta’sirida diafragma egilganda qarama- qarshi tomonlarga o‘zgaradi. Birining 
qiymati shunda ortsa, ikkinchisiniki kamayadi (3.21 – rasm ). 
Agar ko‘prikning qarshiliklari bir qiymatda bo‘lsa uning chiqishidagi 
kuchlanish quyidagi tenglamadan aniqlanadi. 
U
OUT
 = U
S
 x 
O
R
R

 + U
O
U
OUT
– sensorning chiqish kuchlanishi 
U
S
- sensorga berigan manba’
kuchlanishi 
ΔR 
- 
deformatsiya 
ta’sirida 
qarshilikning o‘zgarishi 
R
O
- rezistorning deformatsiyadan 
avvalgi qarshiligi 
U
O
- siljish kuchlanishi 
Quyidagi tenglamadan ham foydalanish mumkin: 
( )



=

K
R
R
O
ΔR 
– 
deformatsiya 
ta’siridagi
qarshilikning o‘zgarishi 
R - deformatsiyadan avvalgi qarshilik 
qiymati 
K – proporsionallik faktori 

66 
ε - mexanik egilish 
(ρ) – bosim 
Chegaralangan bosim diapazonida membrana egilishi bosimga proporsional 
bo‘ladi. 3.21- rasmda ko‘prikning bosim/chiqish kuchlanishi xarakteristikasi va 
temperaturaning ta’siri ko‘rsatilgan. Temperaturaning ta’siri sxematik usullar bilan 
kompensatsiya qilinishi mumkin. 
3.20-rasm Pezorezistiv bosim sensori ( 
Sensortec firmasining asosiy 
konstruksiyasi) 
3.21.rasm. Pezorezistorli ko‘prik 
sxemasi 
(
) (
)
4
3
2
1
4
2
3
1
R
R
R
R
R
R
R
R
U
AB
+

+

−

=
3.22–rasm. Sensorning chiqish 
xarakteristikasi va temperaturaning 
ta’siri 
3.23–rasm. Yarimo‘tkazgichli 
sensorlarning temperatura
kompensatsiyasi 
Quyidagi jadvalda bosimni o‘lchash sohalari va ularning bosim diapazonlari 
keltirilgan 5- jadval) 
Bosim 
diapazoni, Pa 
Sohalar 

67 
0,04 x 10
5 
0,1 x 10 
5
0,2 x10
5
1 x 10
5
2 x10
5
10 x 10
5
50 x 10
5
500 x 10
5
Kir yuvish mashinasidagi suvning sathi 
Vakuumli tozalagichlar;filtrlarni tekshirish; oqimni o‘lchash 
Arterial qon bosimini o‘lchash 
Barometrlar;motor kamerasidagi bosim- yonish va yonilg‘i 
purkalishi) 
Motor kamerasi ( yonilg‘i purkalishidagi bosimning manfiy 
farqi) 
Motor kamerasi ( moyning bosimi; tormozdagi havo bosimi); 
refrejeratorlar ( sovutgich) 
Pnevmatika ; sanoat robotlari 
Gidravlika; konstruksion mashinalar 

Download 5,14 Mb.