184
3.3.2-rasm. P’yezoelektrik effektning ko`rinishlari
P’yezoelektrik dvigatellar (PED)ning ishlash
printsipi maxsus ishlov
berilgan keramik materiallardagi teskari p’yezoelektrik effektga asoslangan.
PEDlar bazasida mikroharakatlarni amalga oshirish uchun yangi harakat
modullari ishlab chiqilgan.
P’yezoelement – ma’lum shakl va kristallografik o`qlarga
nisbatan
orientatsiyasiga ega bo`lgan va p’yezoelektrik materiallardan tayyorlangan
elektromexanik o`zgartirgichdir. U yordamida mexanik energiya elektrik energiyaga
o`zgartiriladi (to`g`ri effekt), elektrik energiya mexanikka o`zgartiriladi (teskari
effekt).
Konstruktiv jihatdan p’yezoelement elektrod o`rnatilgan p’yezokeramikadir.
Uning shakli har xil bo`lishi mumkin: disk, xalqa, trubka, plastina, sfera va boshqa
shakllarda. Vibrator va generatorlarda xarakteristikalarni
yaxshilash uchun
p’yezoelementlarning bir nechtasi ishlatiladi.
3.3.3-rasm (
a)da ilgarilanma deformatsiya “cho`zilish-qisish” bilan
ishlaydigan mikrop’yezoyuritmaning asosiy elementi sxemasi ko`rsatilgan.
185
3.3.3-rasm. Mikroyuritmalarning p’yezoelektrik o`zgartirgichlari
Element p’yezokeramik shaybalar
1 ning paketidan tuzilgan bo`lib
shaybalarning yon tomonida kumush elektrodlar o`rnatilgan.
Bu elektrodlarga
parallel ravishda elektr kuchlanish beriladi. Bunda berilgan kuchlanishning
qutblanishiga qarab shaybalarning cho`zilishi yoki kichrayishi kuzatiladi.
Boshqa turdagi o`zgartirgichlar 3.3.3-rasm (
b) da ko`rsatilgan. Bu
o`zgartirgichlarning ishi p’yezoelektrik va passiv metall yoki polimer qavatlardan
tarkib topgan ko`pqavatli plastinaning egilish deformatsiyalariga asoslangan. Ular
deformatsiya “cho`zish-qisish” larga asoslangan o`zgartirgichlarga nisbatan
kattaroq ishchi yo`liga ega, lekin pastroq aniqlikka va kuch xarakteristikalariga ega.
Bunday elektrmexanik o`zgartirgichlarda chiqish harakati –
mm ning o`ndan
bir ulushigacha; tezligi –
1-2 m/s gacha; pozitsiyalashni boshqarish xatoligi –
mkm
ulushigacha; hosil qiladigan kuch –
yuz N; quvvati –
o`n Vt.
Bunday o`zgartirgichlardan uch darajali mikromanipulyatsion
sistemalar
yaratiladi. Ular o`ntalik
mmli harakat yo`liga ega oddiy elektrmexanik
manipulyatsion tizimlar bilan birga ishlatiladi. Bunda ketma-ket bog`langan qo`pol
va aniq pozitsiyalash sistemasiga ega manipulyator hosil bo`ladi.
Uning ishchi
harakat yo`li birinchi sistema tomonidan, aniqligi – esa ikkinchi sistema tomonidan
ta’minlanadi.
Xrapovik tipidagi PEDning ishlash printsipini ko`rsatuvchi sxema 3.3.4-